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施啟樂(廣州)儀器有限公司

化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實驗室常用設備>凈化/清洗/消毒>洗瓶機/清洗機>GEMStar XT 臺式原子層沉積系統(tǒng)

GEMStar XT 臺式原子層沉積系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 邁可諾技術有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 GEMStar XT
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時間 2025/7/1 18:23:49
  • 訪問次數(shù) 1425

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半導體化工領域?qū)I(yè)實驗設備供應商:邁可諾是一家富有創(chuàng)新精神的高科技公司,專業(yè)提供光電半導體化工實驗室所需設備耗材的全套解決方案提供商,邁可諾從事開發(fā)、設計、生產(chǎn)并營銷質(zhì)量可靠的、安全易用的技術產(chǎn)品及優(yōu)質(zhì)專業(yè)的服務,幫助我們的客戶和合作伙伴取得成功。我們成功的基礎是幫助客戶做出更好的選擇和決定,尊重他們的決定,并協(xié)助他們實現(xiàn)高效率的科研成果,追求豐富有意義的生活。




勻膠機,光刻機,顯影機,等離子清洗機,紫外臭氧清洗機,紫外固化箱,壓片機,等離子去膠機,刻蝕機,加熱板

產(chǎn)地類別 進口 價格區(qū)間 80萬-100萬
應用領域 電子/電池,電氣

美國ARRADIANCE公司的GEMStar XT系列臺式 ALD系統(tǒng),在小巧的機身(78 x56 x28 cm)中集成了原子層沉積所需的所有功能,可多容納98英寸基片同時沉積。GEMStar XT全系配備熱壁,結(jié)合前驅(qū)體瓶加熱,管路加熱,橫向噴頭等設計,使溫度均勻性高達99.9%,氣流對溫度影響減少到0.03% 以下。高溫度穩(wěn)定度的設計不僅實現(xiàn)在8英寸基體上實現(xiàn)膜厚的不均勻性優(yōu)于99%,而且更適合對超高長徑比的孔徑結(jié)構等3D結(jié)構實現(xiàn)均勻薄膜覆蓋,可實現(xiàn)對高達1500: 1長徑比微納深孔內(nèi)部的均勻沉積。


GEMStar XT 產(chǎn)品特點:

* 300℃ 鋁合金熱壁,對流式溫度控制

* 175℃溫控150ml前驅(qū)體瓶,200℃溫控輸運支管

* 可容納多片4,6,8英寸樣品同時沉積

* 可容納1.25英寸/32mm厚度的基體

* 標準CF-40接口 

* 可安裝原位測量或粉末沉積模塊等選件

* 等離子體輔助ALD插件

* 多種配件可供選擇

GEMStar XT 產(chǎn)品型號:

GEMStar XT

* 大8英寸/200 mm基片沉積(4'和6' 可選)

* 單/雙路前驅(qū)體輸運支管, 4/8路前驅(qū)體瓶接口

* 不可升級為等離子體增強ALD

GEMStar XT-R

* 大8英寸(200mm)基片沉積(4'和6' 可選)

* 單/雙路前驅(qū)體輸運支管, 4/8路前驅(qū)體瓶和CF-40接口

* 可升級為等離子體增強ALD

 臺式原子層沉積系統(tǒng)

GEMStar XT-P

* 大8英寸/200mm基片沉積(4'和6 '可選)

* 單/雙路前驅(qū)體輸運支管, 4/8路前驅(qū)體瓶和CF-40接口

* 裝備高性能ICP等離子發(fā)生器

  13.56 MHz 的等離子源非常緊湊,只需風冷, 高運行功率達300W。

* 標配3組氣流質(zhì)量控制計(MFC)控制的等離子氣源線,和一條MFC控制的運載氣體線,使難以沉積的氧化物、氮化物、金屬也可以實現(xiàn)均勻沉積。



 新產(chǎn)品發(fā)布: 臺式原子層沉積系統(tǒng) GEMStar NanoCUBE

* 大100 mm 立方體樣品 沉積

* 單路前驅(qū)體輸運支管, 2路前驅(qū)體瓶接口

* 主要用于3D多孔材料,以及厚樣品的沉積


豐富配件:


多樣品托盤:

* 多樣品夾具,樣品尺寸(8", 6", 4")向下兼容。

* 多基片夾具,多同時容納9片基片。

臺式原子層沉積系統(tǒng) 

溫控熱托盤:

* 可加熱樣品托盤, 高溫度500℃,可實現(xiàn)熱盤-熱壁復合加熱方式。


臺式原子層沉積系統(tǒng)

粉末沉積盤:


臺式原子層沉積系統(tǒng) 

臭氧發(fā)生器:


臺式原子層沉積系統(tǒng)

 真空進樣器(Load Lock) 臺式原子層沉積系統(tǒng) 晶振測厚儀臺式原子層沉積系統(tǒng) 
 前驅(qū)體瓶:臺式原子層沉積系統(tǒng)  前驅(qū)體加熱套臺式原子層沉積系統(tǒng) 

粉末旋轉(zhuǎn)沉積罐模塊:

配合熱壁加熱方式,進一步實現(xiàn)對微納粉末樣品全保型薄膜均勻沉積包覆。 

臺式原子層沉積系統(tǒng) 臺式原子層沉積系統(tǒng)

手套箱接口: 

可從側(cè)面或背面wan美接入手套箱,與從底部接入手套箱不同,不占用手套箱空間。由于主機在手套箱側(cè)面,反應過程中不對手套箱有加熱效應,不影響手套箱內(nèi)溫度。

 

臺式原子層沉積系統(tǒng)

臺式原子層沉積系統(tǒng)

臺式原子層沉積系統(tǒng)





應用案例

臺式原子層沉積系統(tǒng)

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應用領域

臺式原子層沉積系統(tǒng)



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