傳統(tǒng)的激光干涉儀通常需要在被測(cè)目標(biāo)上設(shè)置靶鏡，以反射測(cè)量光線獲得高精度的測(cè)量結(jié)果。鐳測(cè)科技推出的的LY1000非接觸式激光干涉儀，無(wú)需靶鏡，僅利用待測(cè)工件反射甚至是散射的微弱光線即可實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量，是真正意義上的非接觸式測(cè)量。 LY1000非接觸式激光干涉儀除可用于傳統(tǒng)激光干涉儀適用的測(cè)量目標(biāo)外，還可適合于微、小、輕、薄、毒、易變形等不適合安裝靶鏡的目標(biāo)測(cè)量，如液面高度、半導(dǎo)體晶圓位置、微機(jī)械位移、材料膨脹系數(shù)、振動(dòng)等。

    LY1000激光回饋干涉儀的分辨率可達(dá)納米量級(jí)，量程可達(dá)2m，如果加擴(kuò)束鏡，可達(dá)數(shù)米。它同干涉儀一樣，測(cè)量結(jié)果可以溯源到光波長(zhǎng)，從而無(wú)需標(biāo)定。
產(chǎn)品由激光測(cè)頭、信號(hào)處理電箱和軟件組成。
        
以下是本產(chǎn)品*的技術(shù)或特點(diǎn)：

1、高靈敏度，可實(shí)現(xiàn)對(duì)非配合目標(biāo)的非接觸式測(cè)量
2、準(zhǔn)共路技術(shù)有效抑制儀器內(nèi)部環(huán)境變化引起的漂移，儀器具有較小的零漂。
3、具有較高的分辨率和較大量程，測(cè)量結(jié)果可以溯源。