ETSys-Map在線薄膜測量系統(tǒng)是針對納米薄膜研發(fā)和質(zhì)量控制領(lǐng)域中大面積樣品檢測專門設(shè)計的在線薄膜測量系統(tǒng)。

ETSys-Map在線薄膜測量系統(tǒng)用于對1.4m * 1.1m及以上的大面積樣品進(jìn)行在線檢測?？蓽y量光滑平面基底上的納米薄膜，包括單層或多層納米薄膜樣品的膜層厚度、折射率n和消光系數(shù)k；并可同時測量塊狀材料的折射率n和消光系數(shù)k?？蓽y量樣品上區(qū)域的樣品參數(shù)以及樣品表面的均一性分布。

ETSys-Map融合量拓科技在高精度激光橢偏儀的*技術(shù)和產(chǎn)品設(shè)計方面的經(jīng)驗，性能。

特點:

• 微米量級的全面積掃描精度

  *的系統(tǒng)設(shè)計，能夠使探頭到達(dá)樣品上每個點，掃描精度達(dá)到微米量級。

• 原子層量級的膜厚分析精度

  采用非接觸、無破壞性的橢偏測量技術(shù)，對納米薄膜達(dá)到*的測量準(zhǔn)確度和靈敏度，膜厚測量靈敏度可達(dá)到0.05nm。

• 簡單方便安全的儀器操作 

  用戶只需一個按鈕即可完成復(fù)雜的材料測量和分析過程，數(shù)據(jù)一鍵導(dǎo)出。豐富的模型庫、材料庫方便用戶進(jìn)行高級測量設(shè)置。