MSA-100-3D顯微式測(cè)振儀
- 公司名稱(chēng) 上海云燁電子科技有限公司-C
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2019/5/23 14:13:59
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產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
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MSA-100-3D顯微式測(cè)振儀可在大帶寬范圍內(nèi)實(shí)時(shí)測(cè)量樣本的動(dòng)態(tài)特性,高分辨率同時(shí)記錄和分析XYZ三個(gè)方向的振動(dòng)分量,每向的振幅分辨率均達(dá)到亞皮米級(jí)。
因激光光斑極小,所以橫向分辨率*,且?guī)捀哌_(dá)25 MHz,是用于微機(jī)電傳感器(MEMS)以及其他微結(jié)構(gòu)振動(dòng)測(cè)量的理想設(shè)備。通過(guò)軟件移動(dòng)樣品,完成樣品整個(gè)表面的振動(dòng)分析,然后以圖形方式顯示振型。
MSA-100-3D顯微式測(cè)振儀專(zhuān)為具有高橫向分辨率的3D振動(dòng)分析而設(shè)計(jì)。它特別適用于微系統(tǒng),精密機(jī)械零件以及數(shù)據(jù)存儲(chǔ)行業(yè)中HGA和次級(jí)執(zhí)行器動(dòng)力學(xué)的研究。
該儀器基于一種新穎的3D振動(dòng)計(jì)設(shè)置,可實(shí)現(xiàn)平面外和平面內(nèi)運(yùn)動(dòng)的pm分辨率。它的頻率帶寬為25 MHz。集成的XY橫向平臺(tái)具有完整的軟件支持,可實(shí)現(xiàn)高精度樣品移動(dòng),從而實(shí)現(xiàn)掃描測(cè)量,以獲得3D偏轉(zhuǎn)形狀。
可選的集成XY定位臺(tái)與精密軟件一起使探頭易于操作。
•高達(dá)25 MHz的高帶寬實(shí)時(shí)測(cè)量
•平面外和平面內(nèi)運(yùn)動(dòng)的亞pm位移分辨率
•單點(diǎn)和全場(chǎng)掃描測(cè)量
•高點(diǎn)小光斑<4μm橫向分辨率
•38 mm的大間隔距離
•探針臺(tái)兼容
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