恒溫真空勻膠機(jī)/控溫型勻膠機(jī)/真空勻膠烤膠機(jī)Spin Coater 

恒溫真空勻膠機(jī)烤膠機(jī)Spin Coater 產(chǎn)品簡介： 
主要用于液體，膠體在材料表面薄膜的形成，適用于硅片，晶片，玻璃，陶瓷等制版表面涂覆工藝。可在科研，教育，生產(chǎn)中應(yīng)用。 

可以完成有機(jī)物的勻膠。（攝氏溫度200度以下）。 

完成勻膠時(shí)，還可以完成烤膠。 

采用空間式加熱的控溫型勻膠機(jī)，可以進(jìn)行邊加熱邊旋轉(zhuǎn)的控溫勻膠操作，對(duì)提高膠體流動(dòng)性，加速溶劑揮發(fā)，勻膠后直接烤膠等操作提供了便利的解決方案。

控溫精度高、重復(fù)性好，技術(shù)*，性能優(yōu)良。

    標(biāo)配4英寸真空吸盤，加熱速度快，控溫精度高。不同尺寸基片為保證緊密接觸加熱轉(zhuǎn)盤，可定制設(shè)計(jì)更換。

恒溫真空勻膠機(jī)烤膠機(jī)Spin Coater 特性：

1、空間式恒溫加熱，室溫-200℃。精度0.1℃

2、可以完成有機(jī)物的勻膠。（攝氏溫度200度以下）

 完成勻膠時(shí)，還可以完成烤膠。

3、可設(shè)定存儲(chǔ)26個(gè)不同樣片的旋轉(zhuǎn)涂敷工藝過程。

4、每個(gè)涂敷工藝過程可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài)；

5、可以控制加速度

6、平穩(wěn)轉(zhuǎn)速，預(yù)設(shè)值與實(shí)際值誤差率1‰。有視頻為證（如想觀看視頻，請(qǐng)聯(lián)系我）

7、端跳1mm的±2.5％

主要特點(diǎn)： 
高精度多程序控制器： 

可設(shè)定存儲(chǔ)26個(gè)不同樣片的旋轉(zhuǎn)涂敷工藝過程。 

每個(gè)涂敷工藝過程可以設(shè)置25步不同的勻速度狀態(tài)； 

加速度及負(fù)加速度可自主控制。 

液晶顯示屏可以實(shí)時(shí)顯示： 
      1.    第N個(gè)涂敷工藝過程 
      2.    所處工作段 
      3.    真空吸片狀態(tài)。 
      4.    設(shè)置時(shí)間；及實(shí)時(shí)運(yùn)行時(shí)間。 
      5.    設(shè)置速度；及實(shí)時(shí)速度狀態(tài)。 

中英文兩套操作系統(tǒng)供選擇。 

人機(jī)交互式對(duì)話，簡潔，明了。 

儀器真空吸片系統(tǒng)更安全： 
旋涂儀安裝有真空度傳感器，涂敷工作過程電腦實(shí)時(shí)檢測(cè)系統(tǒng)真空度， 
必須在安全的真空度下，電機(jī)啟動(dòng)，運(yùn)行。保障可靠吸片，不飛片。 

頻伺服電機(jī)，轉(zhuǎn)速精度更高： 
300 - 10000轉(zhuǎn)/分，轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性：+ - 0.1 % 
轉(zhuǎn)速10000轉(zhuǎn)/分 

不銹鋼機(jī)殼 聚四氟（塑料王）材質(zhì)工作腔  
不銹鋼機(jī)殼，外表面潔凈光亮。美觀，方便清洗。 

溫度控制系統(tǒng) ：
       工作腔內(nèi)板式加熱體，加熱均勻。 
       控制溫度范圍：室溫--攝氏溫度200度。 
 聚四氟（塑料王）材質(zhì)工作腔 

技術(shù)參數(shù)： 
     單相交流電源：220V.50Hz 
     電機(jī)功率：150W 
    旋轉(zhuǎn)真空吸盤直徑：4英寸（102mm，標(biāo)準(zhǔn)配置） 
     可選擇配置：基片直徑10—200mm可接受訂貨。 
     轉(zhuǎn)數(shù)：300 - 10000轉(zhuǎn)/分。 
     可設(shè)定時(shí)間：1---9999秒。 
     控制溫度：室溫--攝氏溫度200度。 
     控制精度：1攝氏度 
 

標(biāo)準(zhǔn)包裝： 
結(jié)構(gòu)尺寸：260mm寬x 350mm深x 260 mm高, 
可選配件：

1、60升/分有油真空泵 

2、特殊真空吸盤 

3、70升/分無油真空泵