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Pioneer Two 德Raith Pioneer Two 電子束光刻機(jī)

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藍(lán)星宇科技專業(yè)研發(fā)設(shè)計(jì)組裝:紫外臭氧清洗機(jī)(UV清洗機(jī)),準(zhǔn)分子清洗機(jī),等離子清洗機(jī)等儀器設(shè)備。引進(jìn)日本,德國,韓國*技術(shù),設(shè)備已獲得眾多院校,研究所,高科技企業(yè)等客戶*認(rèn)可。

  同時(shí)我們專注進(jìn)口科學(xué)儀器設(shè)備及材料,主要代理有國 Heidelberg 海德堡光刻機(jī),美國 OAI 光刻機(jī),德國 Raith 電子束光刻機(jī),英國 Durtham 無掩膜光刻機(jī),美國 Trion 刻蝕機(jī).沉積機(jī),德國 Sentech 刻蝕機(jī).沉積機(jī),德國 Optosol 吸收率發(fā)射率檢測(cè)儀,日本 SEN  UV清洗機(jī).UV清洗燈,美國Jelight UV清洗機(jī),美國 Nano-master 晶圓清洗機(jī),美國 Arradiance 原子層沉積機(jī),德國 WL 微波離子沉積機(jī)德國 Iplas 微波離子沉積機(jī),美國量子科學(xué) Quantum 綜合物性測(cè)量系統(tǒng),德國 Diener 等離子清洗機(jī)等*技術(shù)產(chǎn)品并可依據(jù)客戶需求,研發(fā)定制相關(guān)儀器及材料。

光刻機(jī),鍍膜沉積機(jī),刻蝕機(jī),UV清洗機(jī),實(shí)驗(yàn)檢測(cè)儀器,UV燈

應(yīng)用領(lǐng)域 電子/電池

德Raith Pioneer Two 電子束光刻機(jī)
 

詳細(xì)介紹

Pioneer Two 電子束光刻機(jī):

德 Raith Pioneer Two 電子束光刻機(jī).png
 


  1. 系統(tǒng)適用于2"及以下的樣片,采用熱場(chǎng)發(fā)射電子槍,加速電壓為20V~30kV??蓪?shí)現(xiàn)高分辨電子束曝光,小驗(yàn)收線寬≤8nm。
    2.       系統(tǒng)中集成了高精度的激光干涉工作臺(tái),運(yùn)動(dòng)行程為50 x 50 x 25mm,XY方向定位精度為2nm,可以實(shí)現(xiàn)精確的拼接套刻,拼接套刻精度≤50nm。
    3.       系統(tǒng)兼具了高精度成像度量的功能,其成像效果和市面上中的熱場(chǎng)電鏡類似,放大倍數(shù)為20x ~1,000,000x。 
    4.       另外,除了標(biāo)準(zhǔn)配置客戶還可以增加一些選配件,如選配背散射探測(cè)器、能譜儀等,進(jìn)行材料分析;選配工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)傾斜模塊,實(shí)現(xiàn)不同角度的材料成像等。如果選擇相應(yīng)的選配件,請(qǐng)?jiān)黾酉鄳?yīng)的價(jià)格。

 

   



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