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施啟樂(廣州)儀器有限公司

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PCE-8 等離子清洗機(jī)

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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  沈陽科晶立足國內(nèi)市場實際情況,以提供Z為實用的產(chǎn)品為己任。產(chǎn)品的質(zhì)量、精度在向國外企業(yè)看齊的基礎(chǔ)上,產(chǎn)品的價格定位卻僅僅是其幾分之一。性價比不僅吸引了眾多國內(nèi)客戶,而且令挑剔的外國客商也稱贊不已,產(chǎn)品遠(yuǎn)銷于印度、馬來西亞、土耳其、波蘭、突尼斯、澳大利亞等國家,并大量出口于美國。

  沈陽科晶為了更好地服務(wù)客戶,專門設(shè)立了開放式專業(yè)實驗室,配備了優(yōu)秀的專業(yè)技術(shù)人員。在這里,不僅可以提供親身的產(chǎn)品體驗環(huán)境,而且還可得到專業(yè)人員的操作指導(dǎo)。開設(shè)以來,制作的樣品達(dá)上千件,接待來訪客參觀戶百余次,其中包括多次外國友人的來訪。在此,沈陽科晶全體員工誠摯地歡迎您的到來,并希望您能提出寶貴的意見與建議。

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產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價格區(qū)間 5萬-10萬
應(yīng)用領(lǐng)域 綜合

  PCE-8等離子清洗機(jī)是一款較大型的清洗機(jī),等離子腔體為 ?8.5"×12"的石英腔體,采用的射頻電源功率0- 100W連續(xù)可調(diào)節(jié),采用的射頻為13.56MHz。本機(jī)主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等),對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。在單晶材料外延薄膜生長以前對其進(jìn)行預(yù)處理,將對生長具有顯著的作用。配有一個直連式雙旋真空泵,可對腔體進(jìn)行抽真空,同時通入氬氣等保護(hù)氣體,適用于對易氧化的物品的清洗。采用6″彩色觸摸屏,可控制射頻功率、清洗時間、氣體流量、真空泵的開啟等。內(nèi)部配有0-500mm/min的質(zhì)量流量計,可以精確地控制進(jìn)氣流量。

產(chǎn)品型號

 PCE-8等離子清洗機(jī)

主要特點

 16″彩色觸摸屏,可控制射頻功率、清洗時間、氣體流量、真空泵的開啟等

 2、內(nèi)部配有0-500mm/min的質(zhì)量流量計,可以精確地控制進(jìn)氣流量

技術(shù)參數(shù)

 1、電源:AC220V

 2、射頻功率:zui大100W,可在0-100W間調(diào)節(jié)

 3、真空泵功率:<500W

 4、總功率:<600W

 5、射頻:13.56MHz

 6、等離子腔體:高純石英腔體,外徑 Φ8.5 ",內(nèi)徑 Φ8.2 ",長12",采用鋁制折疊式法蘭進(jìn)行真空密

                               封,法蘭設(shè)有一個Φ60mm的觀察窗口

 7、極限真空度:50mtorr

 8、通入氣體:可通入多種氣體,如N2、ArAir、H2O2和混合氣體等等(根據(jù)材料性質(zhì)所定)

清洗及蝕刻

產(chǎn)品規(guī)格

 尺寸:620mm×450mm×600mm

標(biāo)準(zhǔn)配件

 1、直連式雙旋真空泵(240L/min)

 2KF25波紋管

 3、KF25手動擋板閥

可選配件

 1、300W、600W射頻電源(進(jìn)行等離子刻蝕和等離子灰化等實驗)

 22-6″石英舟(盛放基片)

 3、2-4通道浮子混氣系統(tǒng)

 4、2-4通道質(zhì)子混氣系統(tǒng)



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