*西門子分析儀7MB2337-0NW06-3PV1

測量原理基于不同氣體具有不同的熱導率。
CALOMAT 6 型傳感器是采用超微技術制造的一種硅
片。硅片帶有測量膜和薄膜電阻。
該薄膜電阻采用恒定溫度調(diào)節(jié)方式，這就要求有與樣
氣熱導率相關的電流密度，然后，這個粗略的數(shù)據(jù)經(jīng)
過處理后用來計算氣體的濃度。
傳感器放置在一個絕熱不銹鋼腔室中以防止外界環(huán)境
溫度變化對測量的影響。
為避免樣氣波動的影響，傳感器沒有放置于主氣路
中。
樣氣進入時，必須不含灰塵，同時還應避免在測量氣
室中出現(xiàn)水氣凝結。這也是為什么大多數(shù)測量任務都
需要進行樣氣預處理的原因。
圖2　CALOMAT 6，測量原理
量程
可能的小和量程由被測組分類型(氣體種類)及
其應用決定。
下表所列的小量程是以 N 2 為殘余氣體組分得到
的。對于其他熱導率比 N 2 大或小的氣體為殘余組分
時，小量程也同時變大或是變小。
可能的小量程
H 2 0~1%（95~100%）
H e 0~2%
A r 0~10%
CO 2 0~20%
CH 4 0~15%
高爐氣體中的H 2 0~10%
酸性轉爐氣中的H 2 0~20%
木材氣化中的H 2 0~30%
干擾氣體的影響

*西門子分析儀7MB2337-0NW06-3PV1
了解樣氣組成對確定殘余氣體中存在的干擾氣體對測
量的影響是非常必要的。
下表給出了 10%殘余氣體（干擾氣體）對測量零點
的影響（以% H 2 計）
零點校正
A r -1.28%
CH 4 +1.59%
C 2 H 6 (非線性響應) -0.06%
C 3 H 8 -0.80%
CO -0.11%
CO 2 -1.07%
H e +6.51%
N 2 O +1.08 %
NH 3 (非線性響應) +0.71%
O 2 -0.18%
SF 6 -2.47%
SO 2 -1.34%
Air(干) +0.25%
當殘余氣體濃度不是 10%時，使用上表中的數(shù)據(jù)依
然可以得到近似結果。即使殘余氣體濃度高達 25%，
該表數(shù)據(jù)依然有效（與氣體種類有關）。
大部分氣體混合物的熱導率是非線性響應的。即使是
在某個特定的濃度范圍，如 NH 3 / N 2 混合氣，也可能
給出模棱兩可的結果。
除了零點，線性梯度也會受到殘余氣體的影響，但是，
對于絕大多數(shù)氣體而言，當其濃度較低時，這種影響
幾乎是可以忽略的。
當使用其它分析儀（ULTRAMAT 6/ULTRAMAT 23）
來修正殘余氣體的影響時，產(chǎn)生的誤差可能能達到
小測量量程的 5%-這與具體應用有關。