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Tergeo 小型等離子去膠機

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 邁可諾技術有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 Tergeo
  • 產(chǎn)地 美國
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時間 2025/7/1 21:00:37
  • 訪問次數(shù) 2757

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半導體化工領域?qū)I(yè)實驗設備供應商:邁可諾是一家富有創(chuàng)新精神的高科技公司,專業(yè)提供光電半導體化工實驗室所需設備耗材的全套解決方案提供商,邁可諾從事開發(fā)、設計、生產(chǎn)并營銷質(zhì)量可靠的、安全易用的技術產(chǎn)品及優(yōu)質(zhì)專業(yè)的服務,幫助我們的客戶和合作伙伴取得成功。我們成功的基礎是幫助客戶做出更好的選擇和決定,尊重他們的決定,并協(xié)助他們實現(xiàn)高效率的科研成果,追求豐富有意義的生活。




勻膠機,光刻機,顯影機,等離子清洗機,紫外臭氧清洗機,紫外固化箱,壓片機,等離子去膠機,刻蝕機,加熱板

產(chǎn)地類別 進口 應用領域 生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池

一、設備用途和特點
1、用途:生物化工和半導體材料科研領域?qū)嶒炇业娜捉鉀Q方案,*解決材料的表面去膠、清洗、改性、活化、PDMS微流控芯片鍵合等工藝過程中的問題。

2、特點:
(1)外觀整潔、美觀,安全防護,節(jié)省空間的使用面積;
(2)材質(zhì)易于清洗和維護,設備結(jié)構(gòu)布局合理,用戶操作、使用、維修方便;
(3)采用成熟、可靠的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)方式,確保設備工作的可靠性;
(4)高性能、低故障率、長使用壽命、易操作維修、造型美觀、售后服務完備;
(5)7英寸觸摸屏控制界面,全自動操作;
(6)等離子強度探測器實時測量等離子源強度。

二、技術參數(shù)
1、操作控制系統(tǒng)
1.1 操作界面:7英寸電阻觸摸屏操作界面,直觀易懂的用戶界面; 
1.2 程序控制:可編程,總共有20個配方;
1.3 配方里面可以控制射頻電源功率,射頻脈沖占空比,2路氣體的流量;
1.4 智能系統(tǒng)自檢功能實時監(jiān)測各個部件的狀態(tài)。監(jiān)測用戶的操作模式,并且根據(jù)用戶的操作模式或者碰到的問題實時提供建議。
1.5 可以通過外部電腦操作控制系統(tǒng)。可以要求廠家遠程登陸來提供在線診斷和服務。可以存儲系統(tǒng)操作和狀態(tài)日志文件。

2、樣品腔體
2.1 腔體材質(zhì):圓柱形石英玻璃艙;
2.2 前觀測窗:前方開口,石英玻璃可視窗口,可觀測內(nèi)腔等離子狀態(tài),并帶有防真空泄漏和避免高壓的聯(lián)鎖裝置,有效保護操作的安全性;

3、射頻電源 
3.1 射頻頻率:13.56MHz;

4.等離子源設計
4.1 等離子強度探測器實時測量等離子源強度;
4.2 外置電極設計,高壓電極不合等離子接觸以避免金屬濺射造成的樣品污染;
4.3 雙等離子源:浸入式等離子源用于主動表面處理、光刻膠蝕刻;遠程式等離子源用于溫和的污染清除以及脆弱易損樣品的表面活化(可選配)。
4.4 遠程模式:同時具有直接模式和遠程模式(可選配)。

5.等離子診斷功能
5.1*的定量等離子體強度傳感器引導用戶對不同樣品調(diào)整配方。
5.2根據(jù)等離子強度傳感器反饋而設計的智能等離子啟輝和調(diào)諧功能,大大提高工作的射頻功率范圍,腔體氣壓范圍。

6、氣體控制 
6.1 氣路控制:二路MFC。 



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