SK2-2-12QA 小型開啟式管式爐
- 公司名稱 鄭州鑫涵儀器設(shè)備有限公司
- 品牌
- 型號(hào) SK2-2-12QA
- 產(chǎn)地 鄭州
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/8/5 20:23:45
- 訪問(wèn)次數(shù) 1705
聯(lián)系方式:趙先生18939263387 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 加熱方式 | 電阻絲 |
---|---|---|---|
價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 控溫精度 | ±1℃ |
內(nèi)部尺寸 | 200*120*80mm | 升溫速度(達(dá)到最高溫) | 50/min |
儀器種類 | 管式爐 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,石油,電子/電池,包裝/造紙/印刷,鋼鐵/金屬 |
最大功率 | 3kW | 最高溫度 | 1000℃ |
小型開啟式管式爐
在真空壓力下,加在電感線圈的射頻電場(chǎng),使反應(yīng)室氣體發(fā)生輝光放電,在輝光發(fā)電區(qū)域產(chǎn)生大量的電子。這些電子在電場(chǎng)的作用下獲得充足的能量,其本身溫度很高,它與氣體分子相碰撞,使氣體分子活化。它們吸附在襯底上,并發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成介質(zhì)膜,副產(chǎn)物從襯底上解吸,隨主氣流由真空泵抽走,稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉(PECVD)。
PECVD開啟式管式爐系統(tǒng)由開啟式管式爐、高真空分子泵系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)及多通道高精度數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)組成,是實(shí)驗(yàn)室生長(zhǎng)薄膜石墨烯,金屬薄膜,陶瓷薄膜,復(fù)合薄膜等的理想選擇。
小型開啟式管式爐主要功能和特點(diǎn):
1、PECVD具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等;
2、PECVD工藝中由于等離子體中高速運(yùn)動(dòng)的電子撞擊到中性的反應(yīng)氣體分子,就會(huì)使中性反應(yīng)氣體分子變成碎片或處于激活的狀態(tài)容易發(fā)生反應(yīng);
3、借助射頻等使含有薄膜組成原子的氣體,在局部形成等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng),很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜;
4、高真空系統(tǒng)由雙級(jí)旋片真空泵和分子泵組成,高真空可達(dá)0.001Pa;
5、數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)是由多路質(zhì)量流量計(jì),流量顯示儀等組成,實(shí)現(xiàn)氣體的流量的精密測(cè)量和控制;
6、每條氣體管路均配備高壓逆止閥,保證系統(tǒng)的安全性和連續(xù)均勻性;
7、采用KF快速法蘭密封,裝卸方便快捷;
8、管路采用世界*Swagelok卡套連接,不漏氣;
9、超溫、過(guò)壓時(shí),自動(dòng)切斷加熱電源及流量計(jì)進(jìn)氣,使用安全可靠。
小型開啟式管式爐主要用途:
高校、科研院所用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備,生長(zhǎng)薄膜石墨烯,金屬薄膜,陶瓷薄膜,復(fù)合薄膜等,也可作為擴(kuò)展等離子清洗刻蝕使用。