手動探針臺（包含晶圓測試探針臺、射頻探針臺、雙面探針臺、氣敏探針臺、真空高低溫探針臺等）、自動探針臺、探針臺配件、激光測試儀、美國GGB探針（包含射頻探針、微波探針、高頻探針、直流探針等）、蜂窩式光學(xué)平臺、金相顯微鏡、I-V/C-V參數(shù)測試儀
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,航空航天 |
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• 6" 卡盤，平整度5um，采用中心吸附孔和多圈吸附環(huán)固定樣品,可用于測試6寸，4寸及以下wafer或芯片，3圈均獨立控制，中心吸附孔小可以選擇250微米
• U型針座放置平臺微調(diào)升降25mm，精度1um，手輪調(diào)節(jié)
• 卡盤臺X/Y方向的行程是:6英寸*6英寸,精度:10micron，均帶鎖死旋鈕
• 顯微鏡調(diào)節(jié)系統(tǒng)采用龍門結(jié)構(gòu)式，雙絲桿導(dǎo)軌驅(qū)動，X-Y行程是：2英寸*2英寸，移動精度為：1微米
• 快速傾仰結(jié)構(gòu)，便于切換物鏡，自帶鎖定
• 可升降調(diào)節(jié)適合加裝探針卡
• 增大型U型臺面，可以同時容納10個探針座
•采用密閉腔結(jié)構(gòu)，屏蔽外部電信干擾同時保持氮氣正壓環(huán)境下樣品在低溫時無結(jié)霜
•優(yōu)化的腔體保溫結(jié)構(gòu)可以*的減少液氮消耗量
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