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QFHDS系列雙軸平面式氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱(chēng) 北京瑞邦精控科技有限公司
品牌 AUSPRECISION
型號(hào) QFHDS系列
產(chǎn)地北京
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間 2025/3/12 14:38:28
訪問(wèn)次數(shù) 1378

產(chǎn)品標(biāo)簽

氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)氣浮直線臺(tái)精密位移臺(tái)氣浮定位臺(tái)氣浮位移臺(tái)

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公司介紹 主營(yíng)產(chǎn)品

北京瑞邦精控科技有限公司成立于2019年，英文名稱(chēng)：BEIJING AUSPICIOUS-PRECISION TECH CO., LTD，公司簡(jiǎn)稱(chēng)：瑞邦精控（AUS-PRECISION）。

瑞邦精控作為北京市科技型中小企業(yè)，專(zhuān)注精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)，團(tuán)隊(duì)擁有10年以上核心研發(fā)經(jīng)驗(yàn)，擁有多種應(yīng)用領(lǐng)域經(jīng)驗(yàn)，成熟的產(chǎn)品應(yīng)用案例。

產(chǎn)品包含單軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)、氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)、多軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)、單軸線軌運(yùn)動(dòng)臺(tái)、AB軸機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)、多軸線軌運(yùn)動(dòng)臺(tái)、精密Z軸、笛卡爾龍門(mén)系統(tǒng)、定制系統(tǒng)及超真空運(yùn)動(dòng)臺(tái)等。

應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體技術(shù)、微納加工、測(cè)試測(cè)量、精密制造、激光加工、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、增材制造、生物醫(yī)療、光學(xué)檢測(cè)、光纖對(duì)準(zhǔn)、科學(xué)研究及航空航天與國(guó)防等。

瑞邦精控以客戶應(yīng)用為導(dǎo)向，傾聽(tīng)客戶之心聲，提供高精度運(yùn)動(dòng)控制方案。通過(guò)創(chuàng)新的產(chǎn)品為客戶創(chuàng)造價(jià)值，堅(jiān)持高精密為主線，堅(jiān)決不走捷徑，踏踏實(shí)實(shí)，積厚薄發(fā)，長(zhǎng)期艱苦奮斗，堅(jiān)持自我批評(píng)與創(chuàng)新，為提高行業(yè)精度水平，默默耕耘

展開(kāi)

精密氣浮直線臺(tái)，精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)，多軸精密氣浮臺(tái)，精密直驅(qū)直線臺(tái)，多軸精密直驅(qū)直線臺(tái)，精密垂直升降臺(tái)，笛卡爾龍門(mén)系統(tǒng)及定制產(chǎn)品。

詳細(xì)信息 在線詢(xún)價(jià)

產(chǎn)地類(lèi)別	國(guó)產(chǎn)	產(chǎn)品種類(lèi)	電動(dòng)
價(jià)格區(qū)間	面議	應(yīng)用領(lǐng)域	電子/電池,包裝/造紙/印刷,鋼鐵/金屬,航空航天

結(jié)構(gòu)優(yōu)勢(shì)

QFHDS系列龍門(mén)平面氣浮采用小孔節(jié)流和多孔氣浮相結(jié)合的方式，極大提高系統(tǒng)的剛度和穩(wěn)定性。平面式氣浮結(jié)構(gòu)，使XY軸運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)共面，反饋光柵尺在同一個(gè)水平面，相當(dāng)于單軸運(yùn)動(dòng)，減小因疊層引起的阿貝誤差。此結(jié)構(gòu)具有高速響應(yīng)頻率及位置穩(wěn)定性，開(kāi)發(fā)的氣浮結(jié)構(gòu)，提高了剛性和負(fù)載能力，以滿足高動(dòng)態(tài)響應(yīng)的要求，可實(shí)現(xiàn)高速運(yùn)動(dòng)和快速的位置整定。

精度性能

采用無(wú)鐵芯直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，交叉解耦控制算法提供雙驅(qū)軸的運(yùn)動(dòng)同步，氣浮導(dǎo)軌實(shí)現(xiàn)無(wú)摩擦、無(wú)振動(dòng)地平滑移動(dòng)，亞微米級(jí)精度滿足超精密加工或測(cè)量，由于非接觸式結(jié)構(gòu)，伺服反饋的跟隨誤差有了質(zhì)地提升，定位精度和重復(fù)精度得到了顯著提高。

線纜管理

使用高質(zhì)量的無(wú)塵線纜，優(yōu)化管線彎曲半徑，防止動(dòng)作過(guò)程中線纜的拉伸影響到氣浮臺(tái)的性能，更適合在潔凈車(chē)間內(nèi)使用。

定制化

根據(jù)應(yīng)用可安裝轉(zhuǎn)臺(tái)或晶圓裝卸用的夾具。氣浮導(dǎo)軌可定制陶瓷材質(zhì)，重復(fù)定位精度±15nm。可選用激光尺或激光干涉儀閉環(huán)反饋，提升精度性能。

規(guī)格指標(biāo)

雙軸平面式氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)

注：

以上為單軸精度指標(biāo)，在潔凈間內(nèi)測(cè)試，溫度20℃±0.5℃（重復(fù)定位精度優(yōu)于±50nm，測(cè)量時(shí)溫度20℃±0.01℃），濕度40%~60%RH，振動(dòng)等級(jí)VC-F，測(cè)試點(diǎn)在負(fù)載板上25mm處，測(cè)試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測(cè)量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)的精度測(cè)試與負(fù)載尺寸及測(cè)試點(diǎn)高度有關(guān)，環(huán)境的變化會(huì)導(dǎo)致精度變化，如要求非標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試，請(qǐng)咨詢(xún)我們。

1. 取決于平臺(tái)安裝表面的平面度；

2. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細(xì)分倍數(shù)；

3. 空載條件下指標(biāo)，MAX速度和加速度取決于負(fù)載大小；

4. 為保護(hù)氣浮導(dǎo)軌建議加裝壓力保護(hù)開(kāi)關(guān)。壓縮空氣必須是清潔的（過(guò)濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無(wú)水（壓力露點(diǎn)-20℃，ISO8573-1級(jí)別3）及無(wú)油（ISO8573-1級(jí)別1）。

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