精密氣浮直線臺，精密氣浮轉(zhuǎn)臺，多軸精密氣浮臺，精密直驅(qū)直線臺，多軸精密直驅(qū)直線臺，精密垂直升降臺，笛卡爾龍門系統(tǒng)及定制產(chǎn)品。
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 電動 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,包裝/造紙/印刷,鋼鐵/金屬,航空航天 |
結(jié)構(gòu)優(yōu)勢
QFHDS系列龍門平面氣浮采用小孔節(jié)流和多孔氣浮相結(jié)合的方式，極大提高系統(tǒng)的剛度和穩(wěn)定性。平面式氣浮結(jié)構(gòu)，使XY軸運動結(jié)構(gòu)共面，反饋光柵尺在同一個水平面，相當于單軸運動，減小因疊層引起的阿貝誤差。此結(jié)構(gòu)具有高速響應(yīng)頻率及位置穩(wěn)定性，開發(fā)的氣浮結(jié)構(gòu)，提高了剛性和負載能力，以滿足高動態(tài)響應(yīng)的要求，可實現(xiàn)高速運動和快速的位置整定。
精度性能
采用無鐵芯直線電機驅(qū)動，交叉解耦控制算法提供雙驅(qū)軸的運動同步，氣浮導(dǎo)軌實現(xiàn)無摩擦、無振動地平滑移動，亞微米級精度滿足超精密加工或測量，由于非接觸式結(jié)構(gòu)，伺服反饋的跟隨誤差有了質(zhì)地提升，定位精度和重復(fù)精度得到了顯著提高。
線纜管理
使用高質(zhì)量的無塵線纜，優(yōu)化管線彎曲半徑，防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮臺的性能，更適合在潔凈車間內(nèi)使用。
定制化
根據(jù)應(yīng)用可安裝轉(zhuǎn)臺或晶圓裝卸用的夾具。氣浮導(dǎo)軌可定制陶瓷材質(zhì)，重復(fù)定位精度±15nm。可選用激光尺或激光干涉儀閉環(huán)反饋，提升精度性能。
規(guī)格指標
注：
以上為單軸精度指標，在潔凈間內(nèi)測試，溫度20℃±0.5℃（重復(fù)定位精度優(yōu)于±50nm，測量時溫度20℃±0.01℃），濕度40%~60%RH，振動等級VC-F，測試點在負載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)的精度測試與負載尺寸及測試點高度有關(guān)，環(huán)境的變化會導(dǎo)致精度變化，如要求非標準測試，請咨詢我們。
1. 取決于平臺安裝表面的平面度；
2. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數(shù)；
3. 空載條件下指標，MAX速度和加速度取決于負載大??；
4. 為保護氣浮導(dǎo)軌建議加裝壓力保護開關(guān)。壓縮空氣必須是清潔的（過濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無水（壓力露點-20℃，ISO8573-1級別3）及無油（ISO8573-1級別1）。
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