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QFHDS系列 雙軸平面式氣浮運動臺

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 北京瑞邦精控科技有限公司
  • 品牌 AUSPRECISION
  • 型號 QFHDS系列
  • 產(chǎn)地 北京
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2025/3/12 14:38:28
  • 訪問次數(shù) 1382

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      北京瑞邦精控科技有限公司成立于2019年,英文名稱:BEIJING AUSPICIOUS-PRECISION TECH CO., LTD,公司簡稱:瑞邦精控(AUS-PRECISION)。

瑞邦精控作為北京市科技型中小企業(yè),專注精密運動臺,團隊擁有10年以上核心研發(fā)經(jīng)驗,擁有多種應(yīng)用領(lǐng)域經(jīng)驗,成熟的產(chǎn)品應(yīng)用案例。

產(chǎn)品包含單軸氣浮運動臺、氣浮轉(zhuǎn)臺、多軸氣浮運動臺、單軸線軌運動臺、AB軸機械轉(zhuǎn)臺、多軸線軌運動臺、精密Z軸、笛卡爾龍門系統(tǒng)、定制系統(tǒng)及超真空運動臺等。

應(yīng)用領(lǐng)域:半導(dǎo)體技術(shù)、微納加工、測試測量、精密制造、激光加工、數(shù)據(jù)存儲、增材制造、生物醫(yī)療、光學(xué)檢測、光纖對準、科學(xué)研究及航空航天與國防等。

瑞邦精控以客戶應(yīng)用為導(dǎo)向,傾聽客戶之心聲,提供高精度運動控制方案。通過創(chuàng)新的產(chǎn)品為客戶創(chuàng)造價值,堅持高精密為主線,堅決不走捷徑,踏踏實實,積厚薄發(fā),長期艱苦奮斗,堅持自我批評與創(chuàng)新,為提高行業(yè)精度水平,默默耕耘





精密氣浮直線臺,精密氣浮轉(zhuǎn)臺,多軸精密氣浮臺,精密直驅(qū)直線臺,多軸精密直驅(qū)直線臺,精密垂直升降臺,笛卡爾龍門系統(tǒng)及定制產(chǎn)品。

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 產(chǎn)品種類 電動
價格區(qū)間 面議 應(yīng)用領(lǐng)域 電子/電池,包裝/造紙/印刷,鋼鐵/金屬,航空航天


結(jié)構(gòu)優(yōu)勢

QFHDS系列龍門平面氣浮采用小孔節(jié)流和多孔氣浮相結(jié)合的方式,極大提高系統(tǒng)的剛度和穩(wěn)定性。平面式氣浮結(jié)構(gòu),使XY軸運動結(jié)構(gòu)共面,反饋光柵尺在同一個水平面,相當于單軸運動,減小因疊層引起的阿貝誤差。此結(jié)構(gòu)具有高速響應(yīng)頻率及位置穩(wěn)定性,開發(fā)的氣浮結(jié)構(gòu),提高了剛性和負載能力,以滿足高動態(tài)響應(yīng)的要求,可實現(xiàn)高速運動和快速的位置整定。


精度性能

采用無鐵芯直線電機驅(qū)動,交叉解耦控制算法提供雙驅(qū)軸的運動同步,氣浮導(dǎo)軌實現(xiàn)無摩擦、無振動地平滑移動,亞微米級精度滿足超精密加工或測量,由于非接觸式結(jié)構(gòu),伺服反饋的跟隨誤差有了質(zhì)地提升,定位精度和重復(fù)精度得到了顯著提高。


線纜管理

使用高質(zhì)量的無塵線纜,優(yōu)化管線彎曲半徑,防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮臺的性能,更適合在潔凈車間內(nèi)使用。


定制化

根據(jù)應(yīng)用可安裝轉(zhuǎn)臺或晶圓裝卸用的夾具。氣浮導(dǎo)軌可定制陶瓷材質(zhì),重復(fù)定位精度±15nm。可選用激光尺或激光干涉儀閉環(huán)反饋,提升精度性能。


規(guī)格指標

雙軸平面式氣浮運動臺

雙軸平面式氣浮運動臺

雙軸平面式氣浮運動臺

雙軸平面式氣浮運動臺

注:

以上為單軸精度指標,在潔凈間內(nèi)測試,溫度20℃±0.5℃(重復(fù)定位精度優(yōu)于±50nm,測量時溫度20℃±0.01℃),濕度40%~60%RH,振動等級VC-F,測試點在負載板上25mm處,測試速度10mm/s,Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法,多軸系統(tǒng)的精度測試與負載尺寸及測試點高度有關(guān),環(huán)境的變化會導(dǎo)致精度變化,如要求非標準測試,請咨詢我們。

1. 取決于平臺安裝表面的平面度;

2. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數(shù);

3. 空載條件下指標,MAX速度和加速度取決于負載大??;

4. 為保護氣浮導(dǎo)軌建議加裝壓力保護開關(guān)。壓縮空氣必須是清潔的(過濾至0.25μm或更佳,ISO8573-1),無水(壓力露點-20℃,ISO8573-1級別3)及無油(ISO8573-1級別1)。









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