3660系列

日本KOFLOC
3660系列質(zhì)量流量控制器

3660系列設(shè)計(jì)精密，成本較低。廣泛用于各個(gè)不同的領(lǐng)域

從實(shí)驗(yàn)室和研究開(kāi)發(fā)項(xiàng)目 到各種儀器設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)采用機(jī)種

發(fā)揮了很好的實(shí)際效果，另外還有有各種衍生功能科選

性能參數(shù)

電氣連接

使用注明

一：進(jìn)氣管道上建議安裝上的過(guò)濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈《濕度不超過(guò)90%(一定不能進(jìn)水)、雜質(zhì)粉塵不超過(guò)20微米》。

二：用肥皂水對(duì)管路進(jìn)行泄漏檢測(cè)時(shí)，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。

三：在使用質(zhì)量流量控制器的時(shí)候，進(jìn)口前方加“ON/OFF電磁閥或手動(dòng)切斷閥”。

四：安裝前，請(qǐng)將設(shè)備管路進(jìn)行整體吹掃。

五：通氣體時(shí)，請(qǐng)先開(kāi)氣源，后設(shè)定值。

六：切勿在沒(méi)有通氣的情況下，對(duì)流量控制器進(jìn)行設(shè)定a。

七：使用完以后，請(qǐng)將流量控制器值歸零或斷電。

八：需要進(jìn)行零點(diǎn)漂移清零的時(shí)候，確認(rèn)進(jìn)/出口沒(méi)流量沒(méi)壓力下、設(shè)定值是0的狀態(tài) 再操作。

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氣體質(zhì)量流量控制器因有控制器精度高，重復(fù)性好，反應(yīng)速度快。它適合半導(dǎo)體，CVD，擴(kuò)散，真空鍍膜，色譜、光纖熔煉，分析儀器，燃料電池，液晶屏，有機(jī)EL,生物工程，等離子蝕刻，環(huán)境測(cè)試，燃燒氣體控制，試驗(yàn)設(shè)備，焊接，微反應(yīng)裝置、配氣和混氣系統(tǒng)等各個(gè)環(huán)節(jié)、各個(gè)制造過(guò)程中的流量控制。氣體質(zhì)量流量控制器所用的傳感器是熱式流量傳感器，熱式質(zhì)量流量計(jì)是利用傳熱原理，即流動(dòng)中的流體與熱源（流體中加熱的物體或測(cè)量管外加熱體）之間熱量交換關(guān)系來(lái)測(cè)量流量的儀表。
 

工作原理
流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理氣體的質(zhì)量流量（無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償）。將傳感器加熱電橋測(cè)得的流

量信號(hào)送入放大器放大，放大后的流量檢測(cè)電壓與設(shè)定電壓/電流進(jìn)行比較，再將差值信號(hào)放大后去控制調(diào)節(jié)閥門

，閉環(huán)控制流過(guò)通道的流量使用之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量。控制器輸出的流量栓檢測(cè)電壓/

電流與流過(guò)通道的質(zhì)量成正比，滿量程（F.S）流量檢測(cè)輸出電為＋5V或20MA。氣體質(zhì)量流量控制器的流量控制范圍是（2~100）％F.S ( 程比為50:1 )，流量分辨率是0.1％ F.S。

品牌：日本小島KOFLOC(創(chuàng)立于1949年),氣體質(zhì)量流量控制器
型號(hào)：3660系列、8500系列、HFC-303系列、3810DS系列
類型：MFC氣體流量控制器/質(zhì)量流量計(jì)
控制范圍：0.02ML—1000L/MIN
精度等級(jí)：0.2%FS—1.5%FS 
響應(yīng)速度：0.5-1秒
適用介質(zhì)：所有氣體（含腐蝕和有毒氣體）
模擬信號(hào)：0-5V、4-20MA（可選）