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YYZKTGL 真空碳管爐 稀土提純爐 石墨化爐

參考價(jià) 230000 225000 220000
訂貨量 1-4 5-9 ≥10
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 東莞燕園半導(dǎo)體科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 YYZKTGL
  • 產(chǎn)地 江蘇省蘇州市
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間 2020/6/22 13:32:41
  • 訪問次數(shù) 349

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       東莞燕園半導(dǎo)體科技有限公司市北京大學(xué)東莞光電研究院投資組件的子公司,于2017年成立。公司位于東莞松山湖沁園路北大東莞科技園。主要以光電裝備,光學(xué)設(shè)備,高溫真空設(shè)備,檢測設(shè)備以及半導(dǎo)體材料等的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。公司擁有強(qiáng)大的科研生產(chǎn)團(tuán)隊(duì),北京大學(xué)物理學(xué)院教授,博士生導(dǎo)師、北京寬禁帶半導(dǎo)體聯(lián)合研究中心主任、中國物理學(xué)會發(fā)光會理事張國義教授任公司董事、技術(shù)總顧問。公司擁有多項(xiàng)發(fā)明,*了半導(dǎo)體裝備在中國市場的空缺,同時(shí)也完善了國內(nèi)生產(chǎn)高溫、真空設(shè)備的技術(shù)。

高溫爐,管式爐,真空爐,氣氛爐及相關(guān)產(chǎn)品

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 加熱方式 石墨加熱
價(jià)格區(qū)間 10萬-30萬 控溫精度 ±1℃
內(nèi)部尺寸 ∮90*120mm 升溫速度(達(dá)到最高溫) 115/min
儀器種類 真空爐 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,能源,鋼鐵/金屬,綜合
最大功率 50KkW 最高溫度 2300℃

技術(shù)參數(shù)

1.1額定功率:        50KW

2.2額定電壓:        三相,380V

2.3加熱器電壓:       0-30V(單相)

2.4額定溫度:        2300℃

2.5工作區(qū)尺寸:        Φ90×120(mm)

2.6冷態(tài)極限真空度:      6.67x10-3Pa

2.7冷卻水水壓:        0.2~0.4Mpa

2.8冷卻水要求:   水質(zhì)按GB10067.1-88國標(biāo),總硬度CaO<10

2.9使用要求:海拔1000M以下、環(huán)境溫度0-45度、濕度15%-85%

2.10保護(hù)氣氛:1800-2200度高純氬或高純氮,2200度以上露點(diǎn)—60度的高純氬

結(jié)構(gòu)簡介

3.1爐體 為立式爐殼,其內(nèi)層為1Cr18Ni9做成的圓筒,外殼為碳鋼經(jīng)防銹處理。兩層之間形成夾套可以通水冷卻,將傳到爐殼內(nèi)壁上的熱量帶走。內(nèi)外筒與上下法蘭焊成一個(gè)整體,中間開有抽氣孔、觀察孔、熱電偶孔等。

3.2爐體上部是爐蓋,它是有內(nèi)外封頭和法蘭焊成,中間可通水冷卻爐蓋,裝有鎖緊裝置,松開鎖緊,爐蓋自動向后打開,手動推到大后即可裝卸工件。

3.3爐底部分也是有內(nèi)外封頭和法蘭組成,中間通水冷卻,固定在爐體下部,有電極引入,電極通水冷卻。

3.4爐內(nèi)隔熱屏由石墨碳?xì)纸M成,內(nèi)層為石墨發(fā)熱體,底部隔熱屏由石墨組成。

3.5真空系統(tǒng)

它是由2X-30雙級機(jī)械泵及真空閥等組成,真空閥門為手動大蝶閥及手動蝶閥,真空度測量由數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)執(zhí)行。有關(guān)真空計(jì)的使用請參照真空計(jì)使用說明書,注意使用一段時(shí)間后,熱偶規(guī)管會老化,其工作電流需重新標(biāo)定,標(biāo)定方法主要為高真空校低真空法。即當(dāng)電離真空度小于3×10-2Pa時(shí),低真空規(guī)管(熱偶管)的指針應(yīng)指向0.1Pa以上,否則應(yīng)調(diào)整其工作電流了。

3.6電氣系統(tǒng)

調(diào)壓控制柜上可控硅調(diào)壓裝置由旋動手動調(diào)節(jié),也可自動控制,380V三相電源經(jīng)過降壓變壓器,電壓降到30V,然后經(jīng)過電纜再送到電極上。

3.7水冷系統(tǒng)

冷卻水由總管進(jìn)入,經(jīng)過各支管送到爐殼、爐蓋、爐底、電極、擴(kuò)散泵和機(jī)械泵等需要冷卻的地方,然后匯總到水箱排出。每路冷卻水都有手動閥門,可以按照需要調(diào)節(jié)流量大小。進(jìn)水管上設(shè)有電接點(diǎn)壓力表,當(dāng)水壓低于0.1Mp時(shí),可自動切斷加熱器。



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