氣路系統(tǒng)

       氣路盤是流量計開發(fā)的氣路輸送系統(tǒng)的解決方案，該產(chǎn)品通過對氣路原理圖的設(shè)計，加工和測試，以隔膜閥，調(diào)壓閥，壓力傳感器，過濾器，MFC等零部件實現(xiàn)對多種工藝氣體的壓力調(diào)節(jié)，純度過濾，流量控制等功能，目前市場上常用的為傳統(tǒng)VCR型氣路盤和氣體輸送集成控制系統(tǒng)(Integrated Gas System)，即IGS氣路盤，這兩種氣路盤業(yè)務(wù)流量計都有能力承接。

　　隨著半導(dǎo)體領(lǐng)域的發(fā)展，對零部件小型化的提出了更高的要求，傳統(tǒng)的VCR氣路盤難以滿足要求，IGS型氣路盤應(yīng)運而生，它具有氣體直方向運輸，體積小，便于安裝維護(hù)等特點，是未來氣路輸送系統(tǒng)發(fā)展的方向;經(jīng)過MFC多年研發(fā)經(jīng)驗的沉積，流量計的IGS氣路盤具有高密封性，高精度，集成度高等優(yōu)點，并可以依托流量計建立的特氣實驗室對特殊氣體進(jìn)行研究測量，保證IGS氣路盤的特殊氣體控制的高準(zhǔn)確性。

氣路系統(tǒng)優(yōu)勢：

• 提供定制化服務(wù)。

流量計具有IC級復(fù)雜氣路盤的設(shè)計能力，可以按照客戶的需求進(jìn)行氣路盤的設(shè)計更改和定制化服務(wù)。

• 多年的MFC生產(chǎn)經(jīng)驗，保證氣路盤的品質(zhì)。

具有多年研發(fā)和生產(chǎn)MFC的經(jīng)驗，可嫁接到氣路盤的設(shè)計和生產(chǎn)中，對氣路盤的裝配和測試工藝不斷優(yōu)化，保證氣路盤的品質(zhì)。

• 良好的性價比。

同等難度的氣路盤，流量計的*同類競品。