半導體用配管配件檢漏儀
- 公司名稱 伯東企業(yè)（上海）有限公司
- 品牌 Pfeiffer Vacuum/普發(fā)
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2020/6/24 13:41:26
- 訪問次數(shù) 248
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| 應用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,航空航天,電氣 |
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價格電議
氦質(zhì)譜檢漏儀半導體用配管配件檢漏
上海伯東客戶某專門生產(chǎn)半導體配管配件工程公司, 定制不銹鋼管, 配件, 閥門和歧管廣泛應用于半導體廠務端, 用于輸送高壓氧氣, 氫氣等. 客戶從現(xiàn)場量測管路, 然后對不同口徑的管路進行焊接, 因半導體行業(yè)的苛刻使用要求, 產(chǎn)品漏率值需要達到 <1E-9mar l/s, 因此需要進行泄漏檢測, 已驗收管件是否達標. 客戶對檢漏效率要求較高, 需要在生產(chǎn)線使用且方便移動操作, 經(jīng)過上海伯東*終選擇移動型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390 和 ASM 392!
半導體用真空配管檢漏方法: 采用真空模式檢漏, 按照下圖組裝樣品, 在懷疑有漏的地方噴氦氣（一般需要檢漏的部位是焊縫或連接處), 如果有漏, 檢漏儀會出現(xiàn)聲光報警同時在屏幕上顯示當前漏率值.
檢漏配置:
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將制作好的各種管件加工焊接, 然后管路連接至氦氣檢漏儀 ASM 390 進行檢漏
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經(jīng)過實際測試, 無論管徑是 6’, 8’ or 10’, 長度在 1m~2m, 均可在 < 90 s 以內(nèi)達到客戶檢漏底壓需求 <1E-9 mbar l/s, 快速又精準, 大大提升了工作效率 |
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測試各個管路時, 可依照客戶需求將數(shù)據(jù)記錄儲存 (并可儲存至計算機內(nèi))
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到現(xiàn)場配管, 所有管件組裝后, 長度達好幾十米, 對比之前的檢漏時間, 工程花費時間可能趨近于一天, 但選用伯東 Pfeiffer ASM 390, 在整體抽校與檢漏時間上, 幾乎縮短了一倍時間！
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因管路銜接長, Pfeiffer ASM 390 針對此點多了一項功能
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結(jié)合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家檢漏儀的技術(shù)優(yōu)勢, 上海伯東德國 Pfeiffer 推出全系列新型號氦質(zhì)譜檢漏儀, 從便攜式檢漏儀到工作臺式檢漏儀滿足各種不同的應用. 氦質(zhì)譜檢漏儀替代傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏, 利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位, 定量漏點. 氦質(zhì)譜檢漏儀滿足單機檢漏, 也可集成在檢漏系統(tǒng)或 PLC. *氦質(zhì)譜檢漏儀應用 >>
半導體用配管配件檢漏儀
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