岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司

Profilm3D光學(xué)輪廓儀-臺階高度、表面粗糙度測量

一、產(chǎn)品簡介： 

   Filmetrics 讓光學(xué)輪廓儀-臺階高度、表面粗糙度測量價(jià)格更實(shí)惠，性價(jià)比更高. Profilm3D 使用了進(jìn)的垂直掃描干涉 (VSI) 結(jié)合高精度相移干涉 (PSI) 測量.以前所未見的價(jià)格使得表面形貌研究進(jìn)入次納米等級。通過光學(xué)掃描儀掃描表面輪廓可進(jìn)行臺階高度測量，表面粗糙度測量
二、產(chǎn)品特點(diǎn)：

（1）100毫米自動XY樣品平臺， 我們每臺Profilm3D 都已將自動XY樣品平臺以及tip/tilt 功能列為標(biāo)準(zhǔn)配備

（2）The Profilm3D以10倍物鏡優(yōu)異地提供更寬廣的2毫米視野, 其數(shù)位變焦功能有助于緩解不同應(yīng)用時(shí)切換多個(gè)物鏡的需要. 可進(jìn)一步減少總體成本. 本司也提供手動或自動物鏡切換炮塔等配置可彈性運(yùn)用于需使用多物鏡應(yīng)用之樣片。

（3）測量速度快，精度高，操作便捷，軟件使用可視化

三、產(chǎn)品參數(shù)：

（1）技術(shù)參數(shù)

厚度范圍, VSI                  50 nm - 10 mm
厚度范圍, PSI                  0 - 3 μm
RMS 重復(fù)性,VSI             1.0 nm
RMS 重復(fù)性, PSI             0.1 nm
臺階高度 準(zhǔn)確性 1          0.7%
臺階高度 重復(fù)性 2          0.1%
樣品反射率範(fàn)圍              0.05% - *
ISO 25178 兼容             是
（2）機(jī)械部件規(guī)格

Z 范圍                          100 mm
Piezo (壓電)范圍          500 μm
垂直掃描速度               12   μm/sec
XY 平臺類型                 自動
XY 平臺范圍                 100 mm x 100 mm
Tip/Tilt 平臺                +/- 5°, 手動
相機(jī)                             2592 x 1944 (5 百萬像素)
相機(jī)變焦 3                    1X, 2X, 4X
系統(tǒng)尺寸，寬x深x高     300 mm x 300 mm x 550 mm
系統(tǒng)重量 15 公
（3）物鏡選項(xiàng)

（4）選配

– 手動 4-物鏡筒及位置感應(yīng)器
– 自動 4-物鏡筒及位置感應(yīng)器

四、應(yīng)用實(shí)例

（1）光學(xué)輪廓儀-臺階高度、表面粗糙度測量-臺階高度測量

Profilm3D光學(xué)輪廓儀測量臺階高度時(shí)，用戶可選取或截取任意掃描區(qū)域，并經(jīng)行任意角度轉(zhuǎn)換。通過鼠標(biāo)拖拽即可在3D視窗中完成任意角度的翻轉(zhuǎn)

（2）光學(xué)輪廓儀-臺階高度、表面粗糙度測量-表面粗糙度測量

Profilm3D光學(xué)輪廓儀測量臺階表面粗糙度時(shí)，用戶可選取或截取任意掃描區(qū)域，并經(jīng)行任意角度轉(zhuǎn)換。通過鼠標(biāo)拖拽即可在3D視窗中完成任意角度的翻轉(zhuǎn)。可測量傾斜面、非傾斜面的的粗糙度

光學(xué)輪廓儀-臺階高度、表面粗糙度測量

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