化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>光學(xué)儀器及設(shè)備>光學(xué)實(shí)驗(yàn)設(shè)備>其它光學(xué)實(shí)驗(yàn)設(shè)備>DaLI 無(wú)掩膜納米光刻機(jī)
Tweez系列高速多光阱納米光鑷，DaLI高精度無(wú)掩膜納米光刻機(jī)，CALM冷原子操控系統(tǒng)以及高性能顯微成像系統(tǒng)等設(shè)備
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
|---|
DaLI無(wú)掩膜納米光刻機(jī)
* 用途：基于無(wú)掩模光刻技術(shù)的各種微納加工
* 主要特點(diǎn)：采用AOD激光操控技術(shù)，光斑定位精度優(yōu)于1nm，高精度套刻對(duì)準(zhǔn)，結(jié)構(gòu)邊緣超平滑，可輕松構(gòu)建1微米以下線寬結(jié)構(gòu)。
* 簡(jiǎn)介：*的AOD激光操控技術(shù)，使得DaLI具有超高的激光定位精度（優(yōu)于1nm），有效壽命長(zhǎng)，以及*的穩(wěn)定性。DaLI主要適用于廣泛應(yīng)用于MEMS、材料科學(xué)、微流控、微光學(xué)器件及其它微納加工領(lǐng)域。
應(yīng)用領(lǐng)域：以優(yōu)于1nm的光斑定位精度，快速完成高精細(xì)結(jié)構(gòu)的構(gòu)建
產(chǎn)品描述：DaLI無(wú)掩膜納米光刻機(jī)是一款采用亞納米精度激光操控技術(shù)為核心的超穩(wěn)定，桌面型，高精度，高速激光直寫設(shè)備。其核心技術(shù)已經(jīng)在在亞納米級(jí)精度要求的儀器設(shè)備中經(jīng)過(guò)十幾年的應(yīng)用檢驗(yàn)。超高精度，和超高穩(wěn)定性是DaLI無(wú)掩膜納米光刻機(jī)實(shí)現(xiàn)高性能的基礎(chǔ)。
* 基本特點(diǎn)：
超穩(wěn)定，長(zhǎng)時(shí)效375nm激光
相對(duì)于其它各種光源，在精密光學(xué)儀器應(yīng)用中，激光光源在光束質(zhì)量，穩(wěn)定性，耐用性等方面具有的*性。DaLI無(wú)掩膜納米光刻機(jī)采用好的激光光源，以保證良好的性能和用戶體驗(yàn)。
廣泛的適應(yīng)性
DaLI無(wú)掩膜納米光刻機(jī)廣泛適用于各種I-line光刻膠，AZ系列正膠，SU-8系列負(fù)膠等，在各種厚膠與薄膠應(yīng)用中有著出色的表現(xiàn)。
優(yōu)異的非平表面直寫功能
不管是平面還是非平表面，刻寫無(wú)障礙，刻寫結(jié)果依然平滑
整機(jī)恒溫系統(tǒng)，保證良好的性能
DaLI無(wú)掩膜納米光刻機(jī)采用了超越光刻技術(shù)極限的亞納米級(jí)AOD激光操控技術(shù)，光斑定位精度可達(dá)0.1nm。為充分發(fā)揮AOD技術(shù)的優(yōu)勢(shì)，我們建立了整機(jī)恒溫系統(tǒng)，控溫精度可達(dá)±0.1℃，將設(shè)備所有部件和溫差形變和熱漂移降到低，從而實(shí)現(xiàn)真正的高精度光刻。
準(zhǔn)確的圖形結(jié)構(gòu)
大量設(shè)計(jì)圖與實(shí)刻圖可聯(lián)系A(chǔ)resis China銷售人員參看。見(jiàn)文末。
工作范圍與曝光拼接
兩種光斑尺寸可供選擇，兩種直寫光斑也可自動(dòng)切換：
大光斑直寫工具單個(gè)工作區(qū)域 為900μm X 900μm；
小光斑直寫工具單個(gè)工作區(qū)域?yàn)?00μm X 300μm
A. 小光斑直寫工具用于對(duì)精度要求較高的圖形構(gòu)建,光斑直徑1μm?
B. 光斑直寫工具適用于大面積高速直寫,光斑直徑3μm?
?DaLI的軟拼接可以將曝光掃描線延伸到臨近區(qū)域，并梯度降低激光強(qiáng)度（紅線）。在臨近區(qū)域，激光強(qiáng)度梯度增加（藍(lán)線），從而獲得干凈均一的拼接圖案?。
用戶友好的操作軟件?
DaLI控制軟件通過(guò)USB接口與設(shè)備快速通訊，可以對(duì)設(shè)計(jì)圖中的區(qū)塊和每一個(gè)微結(jié)構(gòu)的曝光參數(shù)進(jìn)行設(shè)置，對(duì)圖形設(shè)計(jì)的預(yù)覽和快速柵格化，對(duì)樣品的觀察、準(zhǔn)直、調(diào)平等。該軟件具備圖形設(shè)計(jì)和展示功能，可選用多種繪圖工具，支持對(duì) dxf, gerber, bm 等格式文件的導(dǎo)入與修改。
?
*的AOD技術(shù)，定位分辨率優(yōu)于0.1nm?
A. 可以獲得任意平滑、銳利的結(jié)構(gòu)邊緣
?B. 可高分辨調(diào)整特征結(jié)構(gòu)間的距離?
C. 可以實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)精細(xì)結(jié)構(gòu)的構(gòu)建?
多重校準(zhǔn)/反饋機(jī)制
?超高精度的*AOD激光操控技術(shù)，使得通過(guò)各種校準(zhǔn)與反饋機(jī)制來(lái)提升整機(jī)系統(tǒng)的精度和穩(wěn)定性變得簡(jiǎn)單可行。DaLI具有多種校準(zhǔn)和反聵機(jī)制，無(wú)需用戶干預(yù)即可完成，為其優(yōu)異的性能提供更多保障。
基本參數(shù)：?
基材尺寸DaLI-A基本參數(shù) | 可達(dá)100 mm x 100 mm (4’’ x 4’’) |
激光波長(zhǎng) | 375 nm |
激光光斑尺寸 (TEM00) | 1 µm (0.04 Mil) and/或 3 µm (0.12 Mil), 用戶可自選 |
激光光斑定位分辨率 | < 1 nm |
激光直寫速度 | 可至100 000 spots per second |
圖形尺寸 | 可至 1 µm (0.04 Mil) |
數(shù)據(jù)輸入格式 | DXF, Gerber, BMP |
電源 | 230 V/50 Hz, 100 VA |
設(shè)備尺寸 (W x H x D) | 650 mm x 522 mm x 626 mm (25.6” x 20.6” x 24.6”) |
重量 | 80 kg (176.4 lbs) |
集成攝像頭 | 用于樣品檢測(cè)和校正攝像頭 |
硬件和軟件的要求配置 | Windows 7, 32 bit or Windows XP, 32 bit with service pack 3,1.3 GHz processor or higher, 2 GB RAM (4 GB recommended), 160 MB of available hard-disk space for installtion， screen resolution min.1024*768 pixles (1600 x 1050 recommended |
?
更多內(nèi)容請(qǐng)聯(lián)系該產(chǎn)品全國(guó)總代理：AresisChina| 艾銳斯科技(北京)有限公司
或者聯(lián)系該產(chǎn)品全國(guó)總代理：Aresis China
?
采購(gòu)中心
化工儀器網(wǎng)