世偉洛克原子沉積閥   
316L VIM-VAR ALD 閥，1/4 in. 內螺紋 VCR, SC-01, NC 耐熱執(zhí)行器，電磁導閥

 ALD3 和和 ALD6 隔膜閥特點隔膜閥特點

■ 常閉和常開氣動執(zhí)行器

■標準流量系數(shù) 0.27 到 0.62；可 提供定制流量系數(shù)

■ 兩孔口直通和彎曲流動路徑結構

■ 兩孔口、三孔口和四孔口多孔口閥和多閥閥組

■使用 1.125 in.（僅 ALD3 系列）和1.5 in. 平臺的兩孔口和三孔口模塊化表面安裝閥門

■ C-密封設計（所有閥門）■ W-密封設計（僅 ALD3 系列）■1/4, 3/8 和 1/2 in. 以及 6, 10 和12 mm 的 VCR, “H” 型 VCR 和卡套管對焊端接隔膜隔膜

■ 鈷基超級合金 (UNS R30003) 材料可提高強度和耐腐蝕性能

■ 優(yōu)化的超高循環(huán)壽命設計閥座閥座

■ 全包含 閥座設計

■ 高純級 PFA, 全氟化

■ 超高循環(huán)壽命

■ 廣泛的化學相容性

■ 良好的抗膨脹和防污染能力

■ 高整體性閥座密封性能閥體閥體

■ 閥體密封提供了超高循環(huán)壽命

■ 316L VIM-VAR 不銹鋼閥體材料, 用于超高純應用

世偉洛克原子沉積閥   
316L VIM-VAR ALD 閥，1/4 in. 內螺紋 VCR, SC-01, NC 耐熱執(zhí)行器，電磁導閥

■ *可清掃流道

■截流區(qū)小化

■便于吹掃

■流量大化

■ 帶加熱筒安裝孔的可選閥體執(zhí)行器執(zhí)行器標準標準

■高速, 可重復執(zhí)行的氣動執(zhí)行器

■ 能夠在不到5 ms內完成閥門開啟或關閉

■ 工廠設置的流量調節(jié)裝置保證閥門間準確的, 一致的Cv

■ 可選的、工廠設置好的電子執(zhí)行器-位置傳感器可用以確認氣動執(zhí)行閥門開啟位置

■ 可選的電磁導閥, 用于高速執(zhí)行的電子控制耐熱耐熱與標準執(zhí)行器擁有相同的性能和選購件, 同時擁有以下特點：

■ 包括熱應用場合的熱隔離連接

■限制從閥體到執(zhí)行器的傳導性熱傳輸

■ 提供更均勻的閥體溫度來減少冷點

■顯著降低加熱閥門所需的電功率

■ 延長加熱閥體應用場合下的執(zhí)行器壽命目錄目錄ALD3 和和 ALD6 隔膜閥隔膜閥特點