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Tystar.TYTAN 實驗室用低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備

具體成交價以合同協(xié)議為準

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  北京朗銘潤德光電科技有限公司是一家在半導(dǎo)體微電子、高精密光學(xué)鍍膜領(lǐng)域,光伏、光熱、鋰電池等新能源領(lǐng)域以及窗膜、汽車膜、柔性電路板等行業(yè)提供專業(yè)相關(guān)工藝設(shè)備的代理公司。
 
  從2006年起與德國著名微電子設(shè)備專業(yè)廠家FHR公司開始合作,并于2008年成為其中國區(qū)的代理機構(gòu)。通過我們的合作,使 FHR的產(chǎn)品逐漸進入中國,并成為國內(nèi)鍍膜設(shè)備的供貨商。
 
  我們于 2010 年在北京石景山中關(guān)村高科技園區(qū)成立了專業(yè)代理國外微電子半導(dǎo)體及相關(guān)設(shè)備的北京朗銘潤德光電科技有限公司,并與*技術(shù)供貨商建立合作關(guān)系,為公司全面化運轉(zhuǎn)及操作奠定了良好開端。
 
  我們堅持品味與個性、規(guī)范與強大、敬業(yè)與專注的理念,以化的視野、以技術(shù)和高品位的產(chǎn)品、高尚的商德、高水準的服務(wù)取信于用戶,取信于市場。憑借良好的現(xiàn)代企業(yè)運行機制、“應(yīng)用是驅(qū)動”和“以人為本”的發(fā)展理念,造就了一支富有激情、技術(shù)過硬的團隊,為公司的高速發(fā)展打下了堅實的基礎(chǔ)。
 
  北京朗銘潤德光電科技有限公司在向客戶提供產(chǎn)品的同時,更向客戶提供服務(wù);為客戶著想,與客戶共求發(fā)展,共創(chuàng)雙贏: 朗銘值得您的信賴與期待!

鍍膜機,氣體控制系統(tǒng),快速退火爐,閥門

產(chǎn)地類別 進口 應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,能源,電子/電池,汽車及零部件

LPCVD/常壓CVD 實驗室用低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備詳情:

一、關(guān)鍵設(shè)計和性能特性包括:

  1. 創(chuàng)新性熱能設(shè)計
  2. 占地空間小
  3. 優(yōu)良的工藝均勻性
  4. 設(shè)備開機率優(yōu)于 95%
  5. 龐大的客戶網(wǎng)絡(luò)
  6. 專家服務(wù)
  7. 節(jié)省(50%)電能和氣體消耗
  8. 便于保養(yǎng)和服務(wù)

二、常壓工藝:

  1. 氧化工藝(濕法,干法)
  2. 固態(tài)源擴散(BN,P2O5)
  3. 液態(tài)源擴散(POCl3,BBr3)
  4. 退火
  5. 納米材料
  6. 燒結(jié)+合金


三、低壓化學(xué)氣相沉積和工藝:

  1. 摻雜多晶硅和非晶硅 LPCVD
  2. 多晶硅 LPCVD(使用硅烷或乙硅烷)
  3. 低溫氧化硅,摻雜性低溫氧化硅,硼磷硅玻璃,硼硅玻璃和磷硅玻璃LPCVD
  4. 高溫氧化硅LPCVD
  5. TEOS氧化硅LPCVD
  6. 氮化硅LPCVD(低應(yīng)力型,標(biāo)準型)
  7. 硅鍺(Si-Ge)LPCVD
  8. 摻氧半絕緣多晶硅,碳化硅
  9. 外延硅
  10. 納米材料LPCVD

四、關(guān)鍵設(shè)計和性能特點:

  1. 創(chuàng)新性熱能設(shè)計
  2. 占地空間小
  3. 優(yōu)良的工藝均勻性
  4. 設(shè)備開機率優(yōu)于95%
  5. 龐大的客戶網(wǎng)絡(luò)
  6. 專家服務(wù)
  7. 節(jié)省(50%)電能和氣體消耗
  8. 便于保養(yǎng)和服務(wù)


TYTAN爐系統(tǒng)對照表:

爐系統(tǒng)型號 1600 1800 3600 3800 4600
襯底尺寸 6’’ 8’’ 6’’ 8’’ 6’’
爐管數(shù)量 1 TUBE 1 TUBE 3 TUBES 3 TUBES 4 TUBES
單管產(chǎn)能 100 ATM
50 LPCVD
100 ATM
50 LPCVD
100 ATM
50 LPCVD
100 ATM
50 LPCVD
100 ATM
50 LPCVD
恒溫區(qū)長度 18’’/457 mm 18’’/457 mm 18’’/457 mm 18’’/457 mm 18’’/457 mm
設(shè)備尺寸
(長度, 高度, 寬度)
L 63’’/1600 mm L 63’’/1600 mm L 126’’/3200 mm L 134’’/3404 mm L 127’’/3226 mm
H 54’’/1372mm H 54’’/1372mm H 69’’/1753mm H 82’’/2083mm H 82’’/2083mm
D 30’’/762 mm D 30’’/762 mm D 30’’/762 mm D 30’’/762 mm D 30’’/762 mm
*大消耗電功率 18 KVA 28 KVA 40 KVA 45 KVA 50 KVA

 實驗室用低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備



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