其他：

1、包括三個真空旋轉卡盤
2、耐用的設計以及耐化學腐蝕的材料
3、耐化學腐蝕HDPE旋轉碗
4、耐用的不銹鋼機身，具有耐化學腐蝕的透明旋轉蓋
5、4.3”觸摸屏界面
6、基板尺寸：從1厘米到6英寸晶圓
7、轉速范圍：100-12000 RPM
8、轉速分辨率：1RPM
9、加速范圍：空載100-30000 RPM / s
10、安全：真空聯(lián)鎖和旋轉蓋聯(lián)鎖

LEBO EZ6旋涂儀技術參數(shù)

1、旋涂基材6英寸或更小
2、包括三個真空旋轉卡盤
3、用于手套箱的占地面積小
4、易于使用的觸摸屏界面
5、可編程旋涂工藝
6、LEBO EZ6旋涂儀耐用的設計以及耐化學腐蝕的材料
7、耐化學腐蝕HDPE旋轉碗
8、耐用的不銹鋼機身，具有耐化學腐蝕的透明旋轉蓋
9、4.3”觸摸屏界面
10、基板尺寸：從1厘米到6英寸晶圓
11、轉速范圍：100-12000 RPM
12、轉速分辨率：1RPM
13、加速范圍：空載100-30000 RPM / s
14、程序：10個旋轉程序，每個程序有10個步驟
15、安全：真空聯(lián)鎖和旋轉蓋聯(lián)鎖
16、尺寸：270(W)*387(D)*258(H)

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