美國BROOKS布魯克斯公司熱式質量流量計是為了滿足有關工藝過程中對測量精度、重復性和控制方面的要求而設計的產(chǎn)品。它與傳統(tǒng)的體積流量儀器截然不同，BROOKS質量流量計通過被測氣體的比熱來測量流量，不受溫度、壓力變化的影響。因此該產(chǎn)品在各種不同的工作環(huán)境下均有較高的精度。被測流量可設計成質量或體積單位。此外，所有BROOKS INSTRUMENT質量流量計產(chǎn)品都能同現(xiàn)有的工業(yè)儀表兼容，安裝簡便。

BROOKS氣體質量流量計/控制器產(chǎn)品特點是高精度、高零點穩(wěn)定性以及高重復性，而上述特性正是行業(yè)者對質量流量測量和控制技術的需求所美國BROOKS布魯克斯公司熱式質量流量計是為了滿足有關工藝過程中對測量精度、重復性和控制方面的要求而設計的產(chǎn)品。它與傳統(tǒng)的體積流量儀器截然不同，BROOKS質量流量計通過被測氣體的比熱來測量流量，不受溫度、壓力變化的影響。因此該產(chǎn)品在各種不同的工作環(huán)境下均有較高的精度。被測流量可設計成質量或體積單位。此外，所有BROOKS INSTRUMENT質量流量計產(chǎn)品都能同現(xiàn)有的工業(yè)儀表兼容，安裝簡便。的可配置多氣體/多量程功能，相較于競爭產(chǎn)品擁有更好的零點漂移參數(shù)并且經(jīng)確證能夠更持久地保持出廠校準狀態(tài)和精度。

BROOKS氣體質量流量計/控制器產(chǎn)品特點：

1：期零點穩(wěn)定性，每年變動小于滿量程的 0.2%能夠根據(jù)命令變化迅速進行流量響應并且過沖/下沖可忽略不計

2：流量范圍寬 - 從3 sccm 一30 slpm

3：耐高壓等級 - 高達 1,500 psi

4：可拆卸式流量傳感器

5：不受安裝角度影響

6：能和其他質量流量控制器在機械和電氣設計方面兼容

7：電驅動閥超調(diào)

8：耐化學腐蝕閥門

BROOKS氣體質量流量計/控制器技術參數(shù)：

流量范圍-滿量程容量：3sccm - 1000 slpm

精度：±1% of FS （1.5% of FS > 20 slpm）

重復性：0.25% of Rate

線性Included in accuracy：0.25% of Rate

響應時間-常閉 ：  E Series Controllers: < 3 seconds Meters: 6 Seconds

壓力范圍Controllers: 1500 psig Meters: up to 4500 psig on some models

控制范圍：50:1

零點穩(wěn)定性：< 0.2% F.S. per year

輸入和輸出:  0-5 Vdc

電源：±15Vdc