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緊湊型質(zhì)量流量控制器

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青島芯笙微納電子科技有限公司,位于青島市嶗山區(qū)國際創(chuàng)新園,孵化自山東大學(xué)。公司以氣體質(zhì)量流量計/控制器(MFC)、薄膜真空計(Vacuum Gauges)、壓力控制器(EPC)等半導(dǎo)體核心零部件的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售為主營業(yè)務(wù),通過自主創(chuàng)新、產(chǎn)學(xué)研合作及成果轉(zhuǎn)化、行業(yè)整合等手段,實現(xiàn)快速發(fā)展,助力國家半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。
公司現(xiàn)有發(fā)明Z利21項,實用新型12項,計量證書、CE認證、TUV EMC認證、防爆認證等各類證書30余份,從核心芯片到模組、算法構(gòu)建了全鏈條技術(shù)能力。核心研發(fā)成員來自新加坡微電子研究院、德國卡爾斯魯厄理工學(xué)院、山東大學(xué)、中科院、復(fù)旦大學(xué)等科研機構(gòu)以及國內(nèi)儀器儀表企業(yè),全力打造國內(nèi)研發(fā)團隊。
公司獲評國家高新技術(shù)企業(yè)、青島市“專精特新”企業(yè),承建有青島市先進傳感器重點實驗室、青島市先進氣體流量測控技術(shù)工程中心、青島市專家工作站等研發(fā)機構(gòu),并承擔多項科技部重點研發(fā)計劃、山東省重大創(chuàng)新工程、青島市重點項目等國家及省部級技術(shù)攻關(guān)課題。

公司現(xiàn)有千級和萬級潔凈廠房3000余平米,在青島、深圳、濰坊等地設(shè)有制造基地和研發(fā)中心,全面保障產(chǎn)品的高質(zhì)量、快速出貨能力,并提供專業(yè)的售前售后服務(wù)。

 

 

 

質(zhì)量流量控制器,質(zhì)量流量計

應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工

MFC-E系列緊湊型質(zhì)量流量控制器(MassFlowController)是一款專為氣體分析儀、質(zhì)譜儀、配氣儀等行業(yè)所開發(fā)的一款高精度、低溫漂、高可靠性的氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品。該產(chǎn)品配備有高精度流量傳感器、進電磁比例閥、316L不銹鋼氣路座等,具有精度高、響應(yīng)速度快、穩(wěn)定性好等優(yōu)點。操作使用方便,可廣泛用于。輸出和控制信號包括:0-5V模擬信號和RS485數(shù)字通信方式。

  緊湊型質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品應(yīng)用于:半導(dǎo)體加工、分析和環(huán)保、燃燒控制器、真空技術(shù)、表面處理、食品和制藥、化工(石化)等過程控制、氣體混合配比

  緊湊型質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點:
  溫度和壓力不敏感
  設(shè)計勁湊,可安裝任意位置
  超快的響應(yīng)速度
  良好的重復(fù)性和再現(xiàn)性
  可模擬采集、控制或數(shù)字采集、控制





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