ECR125 可調(diào)ECR離子源
- 公司名稱 北京歐普特科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào) ECR125
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2023/7/11 9:57:57
- 訪問次數(shù) 1418
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供貨周期 | 一個(gè)月以上 |
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可調(diào)ECR離子源
圖1 EC/A125
技術(shù)規(guī)范
ECR離子源是利用稀薄氣體中的高頻放電現(xiàn)象使中性原子或分子電離,并從中引出離子束流的裝置。在離子源內(nèi),等離子體運(yùn)動(dòng)軌跡是一條螺旋線。當(dāng)電磁場(chǎng)的頻率ω等于回旋頻率ωc時(shí),電子會(huì)發(fā)生共振吸收,此時(shí)電子對(duì)微波電場(chǎng)產(chǎn)生很強(qiáng)的吸收(提高幾個(gè)數(shù)量級(jí)),獲得巨大的電子會(huì)撞擊原子產(chǎn)生新的電子,而電離出的電子很快也會(huì)發(fā)生回旋共振,撞擊原子產(chǎn)生更多的電子,從而使得真空室內(nèi)等離子體可以達(dá)到很高的濃度。電子回旋共振不但讓電子獲得大幅增加,而且使得電子和原子碰撞的幾率大大增加,這使得等離子體的濃度得到很大提高。
1. EC125可調(diào)離子源用于外部法蘭安裝,使用簡單、緊湊的微波耦合的無燈絲源,配備特殊電網(wǎng)絕緣調(diào)節(jié)系統(tǒng),在交變電場(chǎng)與永磁體的靜磁場(chǎng)的作用下,等離子體在真空室內(nèi)部發(fā)生產(chǎn)生電子回旋共振(ECR)。
2. EC125可調(diào)離子源使用功能陶瓷,維護(hù)方便快捷,工作壽命長(超過300小時(shí)),所有的惰性氣體以及氧氣等活性氣體均可適用于離子源,柵網(wǎng)系統(tǒng)有多種形狀與材料,并擁有全方向節(jié)點(diǎn)機(jī)械調(diào)整系統(tǒng)(每個(gè)方向10 grd),方便實(shí)現(xiàn)工藝適應(yīng)。
技術(shù)規(guī)范
圖2 帶有PBN的 EC/A125
表1
參數(shù) | EC/A125 | EC/F125 |
類型 | 法蘭安裝可調(diào)射頻ECR離子源 多孔徑提取柵網(wǎng) | 法蘭安裝射頻ECR離子源 多孔徑提取柵網(wǎng) |
源材料 | 放電管:Al2O3 柵網(wǎng):C或Mo 微波天線的真空分離:二氧化硅杯 永磁體:NdFeB 外殼:不銹鋼 磁屏蔽:鍍鎳鋼 | |
柵網(wǎng)類型 | 2柵網(wǎng)或3柵網(wǎng)系統(tǒng) 2種不同焦距的標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng) | |
型號(hào) | 插入深度:280 mm(無PBN) 直徑:220 mm(無PBN) | 插入深度:135 mm(不帶PBN) 直徑:220 mm(無PBN) |
重量 | 14.5kg | 11.5kg |
法蘭 | DN 250 | DN200 |
微波電源 | ~125 to 400 W at 2.45 GHz | |
離子電流 | 180 mA(取決于電網(wǎng)類型和運(yùn)行條件) | |
離子 | 100 到 2000 eV | |
加速電壓 | 0 –1000 V | |
過程氣體 | 惰性氣體,N2(無限制) O2和含鹵素氣體(柵極壽命縮短) | |
氣流流量 | 5-20sccm 接頭:1/8“Swagelock(空氣和真空) | |
冷卻水 | 1.5 l/min | |
接頭 | 6 mm Swagelock |