雙爐滑軌式簡易版PECVD
- 公司名稱 安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司
- 品牌 貝意克
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/8/1 13:58:51
- 訪問次數(shù) 1774
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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 儀器種類 | 管式爐 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,能源,電子/電池 |
雙爐滑軌PECVD技術(shù)參數(shù)：
雙溫場滑軌爐 | 主要特點： 滑軌式快速升溫爐是專為生長石墨烯研制的石墨烯生長專用爐，也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實驗，這款設(shè)備是根據(jù)開啟式真空管式爐改裝而來的，操作時可將實驗需要的恒定高溫直接推到樣品處，使樣品能得到一個快速的升溫速度，同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處，使樣品直接暴露在室溫環(huán)境下，得到快速的降溫速率。 技術(shù)參數(shù)： 額定功率（KW）：4 額定電壓（V）：AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz 最高溫度（℃）：1200（1 hour） 持續(xù)工作溫度（℃）：1100 最大升& 降溫速率（℃/S）：≤20 爐管尺寸（mm）：高純石英管Φ50×1900（管徑可選） 加熱區(qū)長度（mm） :230+230 恒溫區(qū)長度（mm）：100+100 控溫方式：模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制具有超溫和斷偶報警功能 控溫精度（℃）：±1 密封系統(tǒng)：爐管兩端配304不銹鋼水冷密封法蘭（包括精密針閥，指針式真空壓力表，法蘭進氣端配置兩個Φ6mm卡套進氣口。 凈重（Kg）：80 |
射頻電源500W | 信號頻率：13.56 MHz±0.005% 功率輸出范圍：L5W-500W 最大反射功率：200W 射頻輸出接口：50 Ω, N-type, female 功率穩(wěn)定度：±0.1% 諧波分量：≤-50dbc 供電電壓：單相交流（187V-253V） 頻率：50/60HZ 整機效率：>=70% 功率因素：>=90% 冷卻方式：強制風冷 |
供氣系統(tǒng) | 工作電壓：185~245V 50HZ 最大輸出功率：18W 流量計標準量程：100sccm，200sccm，200sccm，500sccm（非特殊以氮氣標定，量程可選） 工作溫度：5~45℃ 工作壓差：0.1~0.5MPa 最大壓力：3MPa 準確度：±1.5% FS 測量范圍：-0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid） 針閥：316不銹鋼 混氣罐：Φ80×120mm 截止閥：Φ6mm”316不銹鋼針閥 尺寸：600×600×650 mm |
低真空機組VAU-02 | 空氣相對濕度： ≤85% 工作電電壓：220V±10% 50~60HZ 抽氣速率：8m3/h 極限真空：4X10-2Pa 實驗真空度：1.0X10-1Pa 容油量： 1.1L 進氣口口徑：KF25 排氣口口徑：KF25 轉(zhuǎn)速：1450rpm 噪音：50dB 外型尺寸：600×600×600mm |
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