微電子工藝需要非常潔凈的工藝化學品，該粒子計數(shù)器需要經(jīng)過高度過濾，適用于≤20nm的粒子。 PMS Chem 20化學式粒子計數(shù)器具有20 nm的粒子靈敏度，是目前靈敏度最高的高純度工藝化學品粒子傳感器。

來自化學品輸送和包裝系統(tǒng)的廣泛數(shù)據(jù)證明，與其競爭產(chǎn)品相比，具有20nm靈敏度的PMS Chem 20傳感器統(tǒng)計出的顆粒濃度較大，數(shù)據(jù)具有統(tǒng)計意義。 Chem 20化學顆粒計數(shù)器是非常有用的工具，在化學顆粒源影響工藝和設(shè)備性能之前，便能夠快速檢測化學顆粒源。

化學品粒子計數(shù)器特點

• 新增離線采樣功能

• 良好的激光光學和檢測器使檢測化學物質(zhì)的靈敏度達到20 nm

• 自帶化學流量計用于設(shè)定樣品流量

• 針對不同折射率的化學品進行監(jiān)測，以提高數(shù)據(jù)可靠性：
     Chem 20：適用于折射率較低的化學品
     Chem 20-HI：適用于硫酸和其他折射指數(shù)較高的化學品

• 內(nèi)部泄漏監(jiān)測：在內(nèi)部化學品泄漏時提供報警

• 低流量監(jiān)測器和報警器，以確保數(shù)據(jù)一致

• 宏觀氣泡探測器用于保護傳感器性能

• 本地數(shù)據(jù)顯示

化學品粒子計數(shù)器優(yōu)點

• 實時監(jiān)測20 nm PSL和9 nm Au微粒

• 監(jiān)測影響良率的粒子（競爭技術(shù)無法達到）

• 在掃描表面或得到數(shù)據(jù)之前，快速響應(yīng)粒子偏移

• 優(yōu)化化學品輸送系統(tǒng)，覆蓋從裝卸碼頭到加工節(jié)點的整個過程

• 改善樣本的數(shù)據(jù)統(tǒng)計，加強過程工藝控制

• 針對不同潔凈度的產(chǎn)品，使用兩種視圖模式優(yōu)化儀器操作，拓展產(chǎn)品應(yīng)用空間

• 傳統(tǒng)數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)能夠靈活通信

• 便捷的在線和離線20nm監(jiān)測

應(yīng)用

• 化學輸送系統(tǒng)內(nèi)的實時粒子監(jiān)測

• 流程監(jiān)控點

• 化學包裝操作監(jiān)控

• 化學過濾器性能和效率描述

• 化學處理部件的性能測試

• 化學品質(zhì)量驗證

   

化學品粒子計數(shù)器的操作步驟  

1、準備狀態(tài)1.1電源開關(guān)處于彈出位置。1.2采樣嘴與自凈口用軟管連接。1.3將打印機用打印扁帶線與后面板的打印接口連接;  

1.4，220V交流電源接人插座，并接通電源。  

粒子計數(shù)器預熱按下電源開關(guān)電源指示燈亮檢測周期1min指示燈亮，多功能顯示屏上出現(xiàn)“READY”字樣  

3、粒子計數(shù)器使用按測量鍵，儀器即開始一個檢測周期。此時，儀器指示燈和量程指示燈亮，氣泵開始工作，流量計指示流量，多功能顯示屏顯示原來的“READY”字樣消失，開始顯示粒子數(shù)(若原來顯示時間則仍顯示時間，直到再次按時鐘/粒徑鍵才開始顯示粒子數(shù))。  

4、(將出廠時的密封軟管接頭從采樣嘴拔下)將采樣管一端與相接，另不端接上喇叭口，(附件)，旋動流量調(diào)帶鈕，將浮子上端面調(diào)至2.83L/min刻線處;儀器便可以開始測試。為了防止管道內(nèi)壁吸附的塵埃粒予影響測量結(jié)果，應(yīng)放過一至二遍測量數(shù)據(jù)測量計數(shù)可分總數(shù)和窗口兩種  

5、打印5.1測量結(jié)果需打印時，可按打印鍵這時打印指示燈表示檢測周期結(jié)束后，粒子計數(shù)器即可自動打印出測量結(jié)果第二次打印鍵打印指示燈打印命令解除。  

直接用儀器對電池進行充電：  

將電池插入儀器的電池槽，關(guān)好電池倉蓋。  

將外接電源的出口端插入儀器上的24VDC電源輸入端。  

將外接電源的輸入端插入交流電插座，此時儀器上的電池狀態(tài)燈閃爍。  

當充電完成，電池狀態(tài)指示燈常亮。  

從交流電插座上拔下外接電源的輸入端插頭，然后從儀器上拔下輸出端插頭。  

警告：請注意外接電源插拔順序！  

使用充電器對電池充電