MFC氣體流量計做為半導體零部件的特點

MFC氣體流量計做為半導體零部件在材料、結構、工藝、品質和精度、可靠性及穩(wěn)定性等性能方面達到了半導體設備及技術要求，半導體設備由成千上萬的零部件組成，零部件的性能、質量和精度直接決定著設備的可靠性和穩(wěn)定性，也是我國在半導體制造能力上向躍升的關鍵基礎要素。

MFC氣體流量計具有高技術密集、學科交叉融合、市場規(guī)模占比小且分散，但在價值鏈上卻舉足輕重等特點。萊峰流體LF系列MFC氣體流量計由質量流量傳感器、熱式原件、質量流量控制器調節(jié)閥和放大電路組成，它利用流動的流體傳遞熱量改變測量毛細管溫度分布的熱傳導分布效應而制成，其原理是采用毛細管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質量流量，將傳感器測得的流量信號進行放大，然后與設定的電壓進行比較，用所得的差值去驅動控制調節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。

MFC氣體流量計準確可靠的測量氣體質量流量，測量精度高、零飄小，測量范圍寬，測量的準確度不受環(huán)境溫度和外界壓力的影響，廣泛的應用于真空鍍膜設備、半導體工藝設備、化學化工實驗設備、分析儀器、冶金材料工程、能源動力等各領域.