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熱絲CVD PC-005 熱絲CVD金剛石設(shè)備

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鵬城半導(dǎo)體技術(shù)(深圳)有限公司(簡(jiǎn)稱(chēng):鵬城半導(dǎo)體),由哈爾濱工業(yè)大學(xué)(深圳)與有多年實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)的工程師團(tuán)隊(duì)共同發(fā)起創(chuàng)建。公司立足于技術(shù)前沿與市場(chǎng)前沿的交叉點(diǎn),尋求創(chuàng)新yin/ling與可持續(xù)發(fā)展,解決產(chǎn)業(yè)的痛點(diǎn)和國(guó)產(chǎn)化難題,爭(zhēng)取產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控。


公司核心業(yè)務(wù)是微納技術(shù)與gao duan精密制造,具體應(yīng)用領(lǐng)域包括半導(dǎo)體材料、半導(dǎo)體工藝和半導(dǎo)體裝備的研發(fā)設(shè)計(jì)和生產(chǎn)制造。


公司人才團(tuán)隊(duì)知識(shí)結(jié)構(gòu)完整,有以哈工大教授和博士為核心的高水平材料研究和工藝研究團(tuán)隊(duì);還有來(lái)自工業(yè)界的高級(jí)裝備設(shè)計(jì)師團(tuán)隊(duì),他們具有20多年的半導(dǎo)體材料研究、外延技術(shù)研究和半導(dǎo)體薄膜制備成套裝備設(shè)計(jì)、生產(chǎn)制造的經(jīng)驗(yàn)。


公司依托于哈爾濱工業(yè)大學(xué)(深圳),具備*的半導(dǎo)體研發(fā)設(shè)備平臺(tái)和檢測(cè)設(shè)備平臺(tái),可以在高起點(diǎn)開(kāi)展科研工作。公司總部位于深圳市,具備半導(dǎo)體裝備的研發(fā)、生產(chǎn)、調(diào)試以及半導(dǎo)體材料與器件的中試、生產(chǎn)、銷(xiāo)售的能力。





半導(dǎo)體材料,工藝和裝備的研發(fā)設(shè)計(jì),生產(chǎn)制造

鵬城半導(dǎo)體研發(fā)設(shè)計(jì)制造了熱絲CVD 金剛石設(shè)備,分為實(shí)驗(yàn)型設(shè)備和生產(chǎn)型設(shè)備兩類(lèi)。

熱絲CVD金剛石設(shè)備主要用于微米晶和納米晶金剛石薄膜、導(dǎo)電金剛石薄膜、硬質(zhì)合金基金剛石涂層刀具、陶瓷軸承內(nèi)孔鍍金剛石薄膜等。例如可用于生產(chǎn)制造環(huán)保領(lǐng)域污水處理用的耐腐蝕金剛石導(dǎo)電電極。

可用于平面工件的金剛石薄膜制備,也可用于刀具表面或其它不規(guī)則表面的金剛石硬質(zhì)涂層制備。


平面工作尺寸

圓形平面工作的尺寸:φ650mm。

矩形工作尺寸的寬度600mm/長(zhǎng)度可根據(jù)鍍膜室的長(zhǎng)度確定(如:工件長(zhǎng)度1200mm)。


配置冷水樣品臺(tái)。

熱絲電源功率

可達(dá)300KW,1KW ~300KW可調(diào)(可根據(jù)用戶(hù)工藝需求配置功率范圍)


設(shè)備安全性

-電力系統(tǒng)的檢測(cè)與保護(hù)

-設(shè)置真空檢測(cè)與報(bào)警保護(hù)功能

-冷卻循環(huán)水系統(tǒng)壓力檢測(cè)和流量檢測(cè)與報(bào)警保護(hù)

-設(shè)置水壓檢測(cè)與報(bào)警保護(hù)裝置

-設(shè)置水流檢測(cè)報(bào)警裝置


熱絲CVD金剛石設(shè)備構(gòu)成

真空室構(gòu)成

雙層水冷結(jié)構(gòu),立式圓形、立式D形、立式矩形、臥式矩形,前后開(kāi)門(mén),真空尺寸,根據(jù)工件尺寸和數(shù)量確定。

熱絲

熱絲材料:鉭絲、或鎢絲

熱絲溫度:1800℃~ 2500℃ 可調(diào)

樣品臺(tái)

可水冷、可加偏壓、可旋轉(zhuǎn)、可升降 ,由調(diào)速電機(jī)控制,可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)升降,(熱絲與襯底間距在5 ~ 100mm范圍內(nèi)可調(diào)),要求升降平穩(wěn),上下波動(dòng)不大于0.1mm。


工作氣路(CVD)

工作氣路根據(jù)用戶(hù)工藝要求配置:

下面氣體配置是某一用戶(hù)的配置案例。

H2(5000sccm,濃度*100*%)

CH4(200sccm,濃度*100*%)

B2H6(50sccm,H2濃度99%)

Ar(1000sccm,濃度*100*%)

真空獲得及測(cè)量系統(tǒng)

控制系統(tǒng)及軟件


實(shí)驗(yàn)型 熱絲CVD 金剛石設(shè)備


單面熱絲CVD 金剛石設(shè)備


雙面熱絲CVD 金剛石設(shè)備

生產(chǎn)型熱絲CVD  金剛石設(shè)備


可制備金剛石面積-寬650*1200mm


可制備金剛石φ 650mm




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