MOCVD設(shè)備

材料的輸運采取了超純的氣路系統(tǒng)，源的切換和輸入采用了多路組合閥進氣技術(shù)。由于組合閥具有極小的死空間，使得源的殘留量非常少，有利于生長具有陡峭界面的材料。

MOCVD設(shè)備　　

采用壓差控制技術(shù)控制組合閥的旁路和主路之間的壓力，大大降低了源的壓力和濃度波動，有利于材料生長的重復性和穩(wěn)定性。

　　采用了管道鑲嵌式進氣噴頭，使反應(yīng)源在襯底表面均勻混合并反應(yīng)，大大降低了預反應(yīng)的發(fā)生。

　　采用電阻式快速升降溫加熱爐。

鵬城半導體技術(shù)（深圳）有限公司，由哈爾濱工業(yè)大學（深圳）與有多年實踐經(jīng)驗的工程師團隊共同發(fā)起創(chuàng)建。公司立足于技術(shù)前沿與市場前沿的交叉點，尋求創(chuàng)新可持續(xù)發(fā)展，解決產(chǎn)業(yè)的痛點和國產(chǎn)化難題，爭取產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控。

公司核心業(yè)務(wù)是半導體材料、工藝和裝備的研發(fā)設(shè)計、生產(chǎn)制造。

公司人才團隊知識結(jié)構(gòu)完整，有以哈工大教授和博士為核心的高水平材料研究和工藝研究團隊；還有來自工業(yè)界的高級裝備設(shè)計師團隊，他們具有20多年的半導體材料研究、外延技術(shù)研究和半導體薄膜制備成套裝備設(shè)計、生產(chǎn)制造的經(jīng)驗。

公司依托于哈爾濱工業(yè)大學（深圳），具備*的半導體研發(fā)設(shè)備平臺和檢測設(shè)備平臺，可以在高起點開展科研工作。公司總部位于深圳市光明區(qū)，設(shè)有中試基地，并在沈陽市設(shè)有全資子公司，具備半導體裝備的研發(fā)、生產(chǎn)、調(diào)試以及半導體材料與器件的中試、生產(chǎn)、銷售的能力。