美國英福康Guardian EIES 高精度控制器
可同時(shí)沉積至多八種材料

CIGS 薄膜的理想之選

美國英?？?strong>美國英?？礕uardian EIES 高精度控制器,可將沉積速度控制在 0.1 到 10,000 ?/s 范圍內(nèi)。它可以操作一個(gè)或兩個(gè)傳感器，至多 8 個(gè)光輸入，并控制至多 8 個(gè)沉積源，因此能夠同時(shí)沉積至多 8 種材料。

INFICON 美國英?？礕uardian EIES 高精度控制器,SQC310膜厚控制儀,薄膜沉積控制器 是光伏模塊、有機(jī)發(fā)光二極管、光伏、超導(dǎo)薄膜以及分子束外延制造等應(yīng)用的理想之選。

Guardian Codeposition 系統(tǒng)基于電子碰撞發(fā)射光譜 (EIES)。通過運(yùn)用 EIES，要沉積的材料在熱離子發(fā)射體的作用下生熱，從而產(chǎn)生光子。 產(chǎn)生的光通過濾光器，到達(dá)光電倍增管 (PMT)檢測儀，光電倍增管檢測儀可以測量通過的波長的發(fā)射強(qiáng)度。 然后 INFICON Guardian 控制器產(chǎn)生 信號來控制該材料源。配備了合適濾光器的其它檢測儀可用于多種材料。

一套完整的 Guardian 系統(tǒng)至少包括一個(gè)傳感器、一個(gè) PMT 檢測儀、一個(gè)濾光器、一個(gè) Guardian 控制器單元以及一臺安裝了 Guardian 軟件的電腦（由用戶提供）。 EIES 通常用于控制多種材料的沉積，因此，大多數(shù) EIES 系統(tǒng)還包括其他傳感器、檢測器、光學(xué)器件（例如分裂器）以及 QCM，QCM 用于校準(zhǔn)或控制某些材料的沉積速率。 如需關(guān)于典型系統(tǒng)的更多信息，請參閱下面的 Downloads（下載）選項(xiàng)卡中的《Guardian 配置指南》。

要配置 美國英?？礕uardian EIES 高精度控制器,需要考慮以下幾點(diǎn)
沉積材料的初級和二級發(fā)射波長為多少？
如果不同材料的峰值過于 相近，您可能需要監(jiān)控二級發(fā)射波長， 二級波長的信號強(qiáng)度較弱。
在沉積過程中，真空室中存在哪些本底氣體？ 這些本底氣體的發(fā)射波長是多少？
如果本底氣體的發(fā)射干擾了沉積材料，則建議使用氣體補(bǔ)償傳感器。
對于特定發(fā)射光譜的原子種類， EIES 是至為有效的。分子種類產(chǎn)生的發(fā)射光譜不穩(wěn)定或者 過寬，無法準(zhǔn)確測量。不建議將 EIES 用于有機(jī)材料。各個(gè)具體應(yīng)用的上佳 EIES 系統(tǒng)配置由以上因素及其他因素確定。

美國英?？礕UARDIAN EIES 高精度控制器,SQC310膜厚控制儀,薄膜沉積控制器功能

1) 監(jiān)控和控制多達(dá) 8 種材料的同時(shí)沉積過程
2) 從 0.1 至 10,000 ?/s 的沉積速率
3) 集成式 EIES 和 QCM 薄膜過程控制
4) 12 個(gè)繼電器輸出和 16 個(gè)數(shù)字輸入
5) 用于設(shè)置與操作的基于 Windows 的軟件
6) 與 INFICON Sentinel® 傳感器兼容

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