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Transpector® SPS 殘余氣體分析儀

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 杭州太昊科技有限公司
  • 品牌 INFICON/美國
  • 型號
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時間 2025/4/1 8:29:48
  • 訪問次數(shù) 2951

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      杭州太昊科技有限公司是INFICON的授權(quán)代理商,專業(yè)銷售INFICON旗下的真空產(chǎn)品及設(shè)備,同時致力于先進真空技術(shù)的推廣和應(yīng)用,為廣大用戶改進生產(chǎn)工藝,提升競爭力提供產(chǎn)品服務(wù)和技術(shù)支持。

      目前,公司所經(jīng)營的產(chǎn)品主要有三大類: 一、膜厚控制/監(jiān)測系統(tǒng),產(chǎn)品包括膜厚控制儀、膜厚監(jiān)測儀、傳感器探頭、振蕩器及坩堝控制儀等;二、氣體檢漏/分析系統(tǒng),產(chǎn)品有氦質(zhì)譜檢漏儀、冷媒檢漏儀、四極質(zhì)譜儀(即殘余氣體分析儀)及其他類型檢漏儀;三、真空監(jiān)測/控制系統(tǒng),產(chǎn)品主要包括:真空規(guī)、壓強控制儀、質(zhì)量流量計、真空閥門、真空密封件等;產(chǎn)品應(yīng)用覆蓋光電技術(shù)、太陽能薄膜、半導(dǎo)體制造、照明電器、空調(diào)制冷、科研、航天、汽車制造等眾多行業(yè)和領(lǐng)域。公司本著“積極進取、開拓創(chuàng)新”的精神,不斷提升專業(yè)技能、完善運營細節(jié),兢兢業(yè)業(yè)、勤勤懇懇,旨在為廣大用戶提供更好的真空技術(shù)支持和更加完善的售后服務(wù)。

我們的理念是“完善自我,攜手用戶,精誠合作,共同進步”。我們以我們的誠信和服務(wù)贏得用戶的肯定和信任,以客戶的肯定和信任作為我們孜孜以求的動力和目標,期待更多新老朋友來電來函咨詢業(yè)務(wù),洽談合作!







氦質(zhì)譜檢漏儀,冷媒檢漏儀,真空計,膜厚控制儀,流量控制器,氣體分析儀,真空泵及耗材,晶振片

產(chǎn)地類別 進口 價格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 電子/電池,綜合

Transpector® SPS 殘余氣體分析儀



INFICON Transpector® 單壓取樣 (SPS) 殘余氣體分析儀為目標高壓過程提供上佳半導(dǎo)體晶圓和顯示屏面板保護。憑借適合單壓應(yīng)用的zui敏感空氣泄漏和過程污染檢測,Transpector SPS 可蕞大程度減少晶圓和面板報廢。它具有業(yè)內(nèi)比較的檢測限值和測量速度,確保晶圓和面板產(chǎn)品的質(zhì)量和數(shù)量。Transpector SPS 提供可靠的過程監(jiān)控,確保實現(xiàn)穩(wěn)定的高壓過程,進而大程度提高過程能力和產(chǎn)量。該儀器融合了簡單且高成本效益的入口系統(tǒng)與經(jīng)實踐驗證的離子源和泵組,以提供低風(fēng)險、多回報的氣體分析解決方案。Transpector SPS 是一種經(jīng)過驗證的解決方案,適用于真空電弧重熔 (VAR) 等冶金和熱處理應(yīng)用,且是一般真空和工業(yè)應(yīng)用的理想之選。Transpector SPS 可根據(jù)具體應(yīng)用和預(yù)算進行配置和定制。 針對從 1E-4 Torr 到大氣的取樣過程壓強,均可選用標準孔板、劈刀和旁路線組合。耐腐蝕入口、離子源和泵組的設(shè)計可確保在蝕刻、CVD、ALD 和其他腐蝕性氣體過程中的耐受性。


好處

1,得益于單壓取樣入口,很大程度降低晶圓和面板保護的總擁有成本;是擴散、外延和 RTP 等高壓 過程的理想之選

2,提供蕞低漏氣量和污染監(jiān)測,確保恒定高壓過程

3,通過 強大數(shù)據(jù)采集與同步實現(xiàn)無縫工廠集成和可靠阻斷

4,通過定制 配方優(yōu)化增強生產(chǎn)能力

5,通過即時現(xiàn)場專家響應(yīng)保護關(guān)鍵過程需求


典型應(yīng)用

1,PVD 過程

2,擴散和外延過程

3,蝕刻過程包括:金屬、電介質(zhì)、硅刻蝕, HDP-etch

4,CVD 過程包括:高 k 電介質(zhì)、HDP-CVD、LP-CVD、SA-CVD、CVD 低 k、PE-CVD

Transpector® SPS 殘余氣體分析儀





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