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PlasmaPro 100 ICPCVD

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 牛津儀器(上海)有限公司
  • 品牌
  • 型號
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2022/11/30 12:45:42
  • 訪問次數(shù) 545

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   牛津儀器公司1959年創(chuàng)建于英國牛津,現(xiàn)在已成為世界上較大的科學(xué)和醫(yī)學(xué)儀器領(lǐng)域的跨國集團公司之一,擁有分布于英國和美國的十幾個工廠,在擁有四十多個分公司或辦事處,業(yè)務(wù)遍及一百多個國家和地區(qū)?!  ?br />牛津儀器公司始終關(guān)注和支持著中國的發(fā)展,其產(chǎn)品于25年前就進入了中國市場,與中國的科研、教育、工業(yè)和醫(yī)療界有了許多成功的合作經(jīng)驗?,F(xiàn)在,牛津儀器在北京和上海兩地設(shè)有辦事處和售后服務(wù)支持中心。牛津儀器的用戶已遍及全國二十多個省、市和自治區(qū),產(chǎn)品和服務(wù)受到了廣大用戶的好評。    
   具體產(chǎn)品信息請參見牛津儀器公司中文網(wǎng)站: http://www.oichina.cn

X射線熒光光譜儀;直讀光譜儀;涂鍍層測厚儀;顯微分析;刻蝕,沉積和生長;低溫恒溫器與超導(dǎo)磁體系統(tǒng);臺式磁共振(NMR)分析儀和低場磁共振成像(MRI);X光管和相關(guān)產(chǎn)品;低溫泵系統(tǒng)

  • 在低溫度下沉積低損傷的薄膜
  • 可沉積的典型材料包括: SiO2、Si3N4 、 SiON、Si 和 SiC,襯底溫度可低至5ºC 
  • 65mm、180mm、300mm 尺寸的ICP源 提供了工藝的均勻性
  • 晶圓尺寸高至200mm
  • 電極的溫度范圍為5ºC至400ºC
  • 已獲得ICPCVD氣體配送技術(shù)
  • 實時監(jiān)測清洗工藝, 并且可自動停止工藝
SiO2

SiO2 deposited using TEOS and O2 by ICP CVD in ~50μm deep trench 4:1 aspect ratio

SiNx

SiNx deposited by ICP CVD at room temperature for 22nm T-gate HEMT

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