topcon分光輻射計SR-5AS

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它是使用 UV 固化粘合劑粘合光學部件和微型部件的理想選擇。它是一款輕巧緊湊的型號，配備通信功能，并以安裝在設備中為前提進行設計。照射頭可連接4CH，使用分支箱最多可點亮16個LED用于 g 線和 i 線抗蝕劑兼容晶圓邊緣曝光的 UV-LED 光源。不僅可以安裝在新設備上，還可以方便地更換目前使用的UV燈光源。安裝 UV-LED 后，用于 g 線和 i 線抗蝕劑兼容晶圓邊緣曝光的 UV-LED 光源。特的光學設計實現(xiàn)了 7,000 mw/cm2 或更高的高輸出。適用于加工時間長的厚膜抗蝕劑加工。此外，可以大大縮短曝光處理時間，大大有助于增加處理的晶片數(shù)量。用于液晶面板周邊曝光的UV-LED光源。通過將傳統(tǒng)的UV燈和光導方式改變?yōu)閁V-LED頭方式，大大有助于延長光源壽命和降低維護成本。它是使用 UV 固化粘合劑粘合光學部件和微型部件的理想選擇。該模型專為獨立使用而設計。采用觸摸屏，操作非常簡單。UV-LED Head可連接4CH，使用分支盒最多可連接16盞燈。是一種可以高強度照射Φ20-30mm區(qū)域的UV-LED光源。UV-LED Head 可以緊湊地收集多個 LED，并用光高效地照射所需區(qū)域。可連接多個UV-LED Head，采用觸摸屏，操作非常簡單。