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MKS AX7657-85 MKS ASTRON2L RPS 半導體遠程等離子源

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 江蘇神州半導體科技有限公司
  • 品牌 MKS/美國
  • 型號 MKS AX7657-85
  • 產(chǎn)地 美國
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時間 2024/10/28 9:15:27
  • 訪問次數(shù) 1547

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      神州科技是中國地區(qū)半導體產(chǎn)線電源系統(tǒng)服務廠商,位于江蘇省揚州市維揚開發(fā)區(qū),現(xiàn)有員工300人,工程師230人,模擬測試線20條,已建成完整全面的高精度,高功率:直流、射頻、微波、網(wǎng)絡匹配器、遠程等離子發(fā)生器 等綜合測試平臺,是國家火炬計劃項目《等離子電源研發(fā),應用平臺建設》承接單位。公司業(yè)務遍及亞洲,于日本、新加坡、韓國分設辦事處。

      神州科技為芯片產(chǎn)線,光伏產(chǎn)線,液晶面板制造產(chǎn)線,工業(yè)玻璃鍍膜產(chǎn)線,LED新光源產(chǎn)線,以及醫(yī)療、科研真空,各類高科技產(chǎn)業(yè)等離子系統(tǒng)提供電源系統(tǒng)的維修,備件支持,設備租憑服務。神州團隊嚴謹創(chuàng)新,高效熱誠,服務世界半導體產(chǎn)業(yè)。








電源維修,二手電源設備銷售,直流電源,射頻電源,脈沖電源,自動網(wǎng)絡匹配器,遠程等離子發(fā)生器,分子泵離子泵,干泵冷泵

價格區(qū)間 10萬-30萬 應用領域 能源,電子/電池,電氣,綜合
品牌 MKS 型號 AX7657-85
P/N 0190-41326W 氣體流速 2?slm
設備狀態(tài) Refurbished 貨期 3-4周

MKS ASTRON2L RPS 半導體遠程等離子源是經(jīng)過長期驗證的具有優(yōu)良性能和高可靠性的高性能遠程等離子體源,是沉積和蝕刻室清潔工藝的關鍵子組件,消除了工藝副產(chǎn)物從室壁積聚,增加工藝工具的壽命,并減少薄膜污染的來源。ASTRON Series RPS 廣泛應用在半導體各制程的清潔環(huán)節(jié)中,可以以各種不同的配置安裝在硅晶圓或大面積基板工藝室上。ASTRON Series RPS效果良好且更加經(jīng)濟可靠,為CVD室清潔,F(xiàn)PD(平板顯示器)提供所需的反應氣體室清潔,太陽能室清潔,光刻膠堆灰,氧化,氮化和化學消減。

                                           

MKS ASTRON2L RPS 半導體遠程等離子源技術(shù)參數(shù)

設備型號:Astron AX7657-85,P/N 0190-41326W

AC輸入: 208V ~,3 phase ~,50/60Hz,30A

散熱方式:水冷散熱

水冷水壓:100 PSIG(Max.)

通信接口:RS-232 / Cust I/O                                                          

MKS ASTRON2L RPS 半導體遠程等離子源

MKS ASTRON2L RPS 半導體遠程等離子源






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