臺(tái)式等離子清洗機(jī)是一款專門針對(duì)科研院所研制的小批量樣品表面處理設(shè)備，利用真空環(huán)境產(chǎn)生等離子體去處理樣品的表面，達(dá)到常規(guī)清洗方法無(wú)法達(dá)到的效果。具有設(shè)備小巧，真空腔容量大，適用于實(shí)驗(yàn)室環(huán)境；清洗過(guò)程不會(huì)產(chǎn)生高溫，避免產(chǎn)品產(chǎn)生熱變形；可以處理各種各樣的材質(zhì)，如金屬、半導(dǎo)體、氧化物或高分子材料，應(yīng)用廣泛。

臺(tái)式等離子清洗機(jī)特點(diǎn)：

u  采用射頻電源、自動(dòng)匹配器，一鍵式操控

u  低溫等離子體，能量低、密度高，適合處理特殊材料

u  無(wú)環(huán)境污染、無(wú)化學(xué)品消耗

u  可處理形狀復(fù)雜的材料，材料表面處理的均勻性好

u  適用性廣，各種材料、形狀都可以處理

設(shè)備的優(yōu)點(diǎn)：

1、采用射頻電源、自動(dòng)匹配器，一鍵式操控。

2、低溫等離子體，能量低、密度高，適合處理特殊材料。

3、無(wú)環(huán)境污染、無(wú)化學(xué)品消耗。

4、可處理形狀復(fù)雜的材料，材料表面處理的均勻性好。

5、適用性廣，各種材料、形狀都可以處理。

腔體材質(zhì)  鋁合金
電源功率  0-300W可調(diào)

射頻頻率  13.56MHz

真空度  ≤100Pa

氣體路數(shù)  2路

氣體流量  MFC氣體質(zhì)量流量計(jì)   500SCCM（可調(diào)）

控制  觸屏

清洗時(shí)間  1-6000s連續(xù)可調(diào)

處理尺寸：≤4寸

內(nèi)腔尺寸  Φ147mm*145mm（直徑*深）

外形尺寸  500mm*525mm*365mm（寬*深*高）

重量  ≈38KG

真空泵  愛特VRD-4