資訊日本佐藤真空泵IG-D7A貨物運(yùn)輸

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現(xiàn)在，我們?nèi)粘Ｉ钪薪?jīng)常使用真空生產(chǎn)的商品，包括平板電視、手機(jī)等電子設(shè)備，核磁共振成像等醫(yī)療設(shè)備，從真空干燥的蔬菜到干燥冷凍食品等食品產(chǎn)品。有。在技術(shù)的開發(fā)領(lǐng)域，以半導(dǎo)體產(chǎn)品、宇宙機(jī)器為首，從事醫(yī)藥品開發(fā)的大學(xué)、民間企業(yè)的研究室，都廣泛地使用真空泵。

真空是什么

“指的是充滿壓力比大氣壓低的稀薄氣體的空間狀態(tài)。當(dāng)然，除了宇宙空間，在地面上，密閉容器的氣體會通過某種方法強(qiáng)制排出，形成比大氣壓低的壓力狀態(tài)。其手段是使用真空泵。

氣體的狀態(tài)由溫度和壓力來表示，無論它是高于或低于大氣壓力。壓力的單位有〔力/面積〕的維度，在國際單位制中基本是〔N/m2=Pa:帕斯卡〕※1。以往，作為表示真空狀態(tài)的壓力單位〔Torr=mmHg〕被使用，不過，隨著宇宙空間的工學(xué)利用，為了與工程單位具有共通性，作為表示真空程度的單位〔Pa:帕斯卡〕開始被使用了。工學(xué)系單位，以大氣壓狀態(tài)為基準(zhǔn)〔壓力=零〕壓力表示(量規(guī)壓)※2的事多，不過，真空系根據(jù)表- 1的壓的表示容易明白。在密閉的空間里，無論怎樣降低壓力，氣體分子都不可能消失，所以即使壓力無限接近于零，也幾乎不可能變成零。如果用量規(guī)壓來表示的話，會變成非常難理解的數(shù)值。

※1 1kgf=9.8N(牛頓)

※2壓力容器(鍋爐、氣瓶)等

真空泵

從密閉容器排出氣體時，與壓縮機(jī)一樣，對從進(jìn)氣口進(jìn)入的氣體通過旋轉(zhuǎn)或往復(fù)運(yùn)動進(jìn)行壓縮后排出到大氣(容積排氣型)。但是，這在低真空的氣體密度大的范圍(粘性流區(qū)域)是有效的，但是在高真空的氣體密度小的氣體分子之間不發(fā)生碰撞的范圍(分子流區(qū)域)，利用了氣體分子單獨(dú)排氣的其他機(jī)制的真需要空泵。(參見表-2)這就是油擴(kuò)散泵或渦輪分子泵。油擴(kuò)散泵加熱油制造油蒸汽，通過從噴嘴高速噴出的噴射流將氣體分子壓縮到高真空區(qū)域。渦輪分子泵是指高速旋轉(zhuǎn)(3000 ~ 10000轉(zhuǎn))的葉輪將氣體分子吹到高真空區(qū)域后壓縮排氣。在高真空排氣泵中，進(jìn)氣口為高真空區(qū)域，排氣口為低真空區(qū)域，比大氣壓力低，所以在排氣口連接低真空排氣泵(油轉(zhuǎn)泵、干泵等)作為輔助泵，最終向大氣排氣。

(參見真空排氣單元一節(jié))

在此，關(guān)于在大學(xué)、民間實(shí)驗(yàn)室等最容易使用的油旋轉(zhuǎn)真空泵，將進(jìn)行以下敘述。

VHF-Ⅰ(C)

VHF-Ⅰ(M)

VHF-E

SS400

SUS304

IM-30W

IM-30S

IM-40W

IM-40S

IM-50W

IM-50S

IM-60W

IM-60S

IM-70W

IM-70S

IM-80W

IM-80S

IM-100W

IM-100S

IM-120W

IM-120S

SRC-100V

OMT-O-50

OMT-D-100

CT-D-100

CT-D-150

CT-D-300

CT-D-600

OMT-D-1000

OMT-D-2000

OMT-D-3000

OMT-D-6500

OMT-D-7500

TMN200-2

TMN200-4

TMN200-N

TMN200C-2N

TMN200C-4N

TMN200C-NN