NS200 接觸式臺階儀
| 參考價 | ￥ 600000 |
| 訂貨量 | ≥1臺 |
- 公司名稱 深圳市中圖儀器股份有限公司
- 品牌 CHOTEST/中圖儀器
- 型號 NS200
- 產(chǎn)地 學苑大道1001號南山智園B1棟2樓、5樓
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/4/7 8:43:19
- 訪問次數(shù) 1137
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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 環(huán)保,化工,能源,電子/電池,綜合 |
中圖儀器NS系列接觸式臺階儀是利用光學干涉原理，可以對微米和納米結(jié)構(gòu)進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。是一種接觸式表面形貌測量儀器。
NS系列臺階儀廣泛應用于：大學、研究實驗室和研究所、半導體和化合物半導體、高亮度LED、太陽能、MEMS微機電、觸摸屏、汽車、醫(yī)療設備等行業(yè)領域。如在太陽能光伏行業(yè)中，通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度，具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點。它可以測量各種材料的膜層厚度，包括金屬、陶瓷、塑料等。
產(chǎn)品特性
1.出色的重復性和再現(xiàn)性，滿足被測件測量精度要求
線性可變差動電容傳感器（LVDC），具有亞埃級分辨率，13um量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差，使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。
2.超微力恒力傳感器：（1-50）mg可調(diào)
測力恒定可調(diào)，以適應硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面。超低慣量設計和微小電磁力控制，實現(xiàn)無接觸損傷的精準接觸式測量。
3.超平掃描平臺
系統(tǒng)配有超高直線度導軌，杜絕運動中的細微抖動，提高掃描精度，真實反映工件微小形貌。
4.頂視光學導航系統(tǒng)，5MP超高分辨率彩色相機
5.全自動XY載物臺， Z軸自動升降、360°全自動θ轉(zhuǎn)臺
6.強大的數(shù)據(jù)采集和分析系統(tǒng)
臺階儀軟件包含多個模塊，為對不同被測件的高度測量及分析評價提供充分支持。
NS系列接觸式臺階儀對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求，樣品適應面廣，數(shù)據(jù)復現(xiàn)性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效，是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段。
典型應用
部分技術參數(shù)
| 型號 | NS200 |
| 測量技術 | 探針式表面輪廓測量技術 |
| 探針傳感器 | 超低慣量，LVDC傳感器 |
| 平臺移動范圍X/Y | 電動X/Y(150mm*150mm)(可手動校平) |
| 樣品R-θ載物臺 | 電動，360°連續(xù)旋轉(zhuǎn) |
| 單次掃描長度 | 55mm |
| 樣品厚度 | 50mm |
| 載物臺晶圓尺寸 | 150mm（6吋）,200mm（8吋） |
| 尺寸（L×W×H）mm | 640*626*534 |
| 重量 | 40kg |
| 儀器電源 | 100-240 VAC，50/60 Hz，200W |
使用環(huán)境
相對濕度：濕度 （無凝結(jié)）30-40% RH
溫度：16-25℃ (每小時溫度變化小于2℃)
地面振動：6.35μm/s（1-100Hz）
音頻噪音：≤80dB
空氣層流：≤0.508 m/s（向下流動）
如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。
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