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單片智能清洗系統(tǒng)

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單片清洗機(jī)

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深圳正陽工業(yè)清洗設(shè)備有限公司成立于2008年,經(jīng)過15余年來的發(fā)展,如今已在華東、西南、廈門等地區(qū)設(shè)立服務(wù)辦事處。


公司通過了IS09001質(zhì)量管理體系、IS014001環(huán)境管理體系和職業(yè)健康管理體系,是專精特新企業(yè),擁有多項(xiàng)自主知識產(chǎn)權(quán),與多所高校建立了長期技術(shù)研發(fā)合作關(guān)系。


公司集產(chǎn)品開發(fā)、生產(chǎn)、銷售及提供高要求智能清洗整體解決方案于一體,致力于在智能清洗領(lǐng)域做專、做實(shí)、做精、做透、做特!


通過敬業(yè)、職業(yè)、專業(yè)的服務(wù),深得客戶的信賴,與上百家企業(yè)建立了長期的伙伴合作關(guān)系,贏得了市場和業(yè)界的尊重!


RCA濕法清洗機(jī),干法等離子清洗機(jī)等

單片式清洗機(jī)是由幾個(gè)清洗腔體組成,再通過機(jī)械手將每一片晶圓送至各個(gè)腔體中進(jìn)行單獨(dú)的噴淋式清洗,清洗效果較好,避免了交叉污染和前批次污染后批次,具有工藝環(huán)境控制能力與微粒去除能力,有效解決晶圓之間交叉污染的問題???/4/6/8/12/16腔室,單腔室處理速度可達(dá)到35片/小時(shí),根據(jù)客戶需求定制適用于8寸/12寸硅片清洗,內(nèi)部集成精密的化學(xué)藥液配比裝置和廢液回收裝置。


單片智能清洗機(jī)有以下產(chǎn)品特點(diǎn);



1.自主研發(fā)的智能精準(zhǔn)的傳輸控制系統(tǒng)
2. 全自動(dòng)化學(xué)品集中供液系統(tǒng)(CDS)
3. 可選配多組合的晶圓清洗工藝
4.單片處理時(shí)間短,節(jié)約成本,良品率高,有效避免邊緣再附著
5.立體層疊式結(jié)構(gòu),占地面積小。






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