M+100CD 勻膠機(jī)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 陜西愛姆加電子設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) M+100CD
- 產(chǎn)地 西安
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2023/12/8 11:14:41
- 訪問(wèn)次數(shù) 150
產(chǎn)品標(biāo)簽
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IC半導(dǎo)體、LED、Bumping、化合物、光通訊、OLED、MEMS等 Wafer Size 晶圓尺寸：Φ2"-8"
Spin motor主軸轉(zhuǎn)速：0-8000rpm±1rpm
Uniformation膜厚均勻性：＜1％(參考AZ1500）
Temperation溫度均勻性：0-250℃±0.5℃
MTBF：≥1500小時(shí)Uptime：95％
二、涂膠單元 Coater Uint： 膠盤：Teflon，Delrin
可編程移動(dòng)式滴膠
可配3路噴嘴
正/背面去邊清洗
主軸電機(jī)：伺服電機(jī)（高速：8000rpm）
勻膠溫度控制（選配）
噴嘴預(yù)清洗（選配）
環(huán)境溫濕度控制（選配）
三、顯影單元 Developer：
膠盤:Delrin
4路噴液（2 spray，1 streaam, 1 Dl water）
主軸電機(jī)：伺服電機(jī)（高速：8000rpm）
背面清洗
滴液方式：膠泵或壓力罐
液體溫度控制（選配）
排風(fēng)控制
體積尺寸：1400mm（W）×1400mm（D）×1700mm(H)
采購(gòu)中心
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