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3D 粗糙度重建系統(tǒng)

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掃描電鏡粗糙度重建

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復(fù)納科學(xué)儀器(上海)有限公司(簡(jiǎn)稱“復(fù)納科技”)于 2012 年在上海成立,聚焦荷蘭飛納臺(tái)式掃描電鏡在中國(guó)市場(chǎng)的推廣和應(yīng)用,涵蓋領(lǐng)域包括材料、鋰電新能源、半導(dǎo)體、生命科學(xué)和法醫(yī)檢測(cè)等。

截止目前,復(fù)納科技服務(wù)超過(guò) 2000 家飛納電鏡客戶和 100 家相關(guān)產(chǎn)品客戶,包括:清華大學(xué)、北京大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)、上海交通大學(xué)、華南理工大學(xué)和中科院系統(tǒng)等高??蒲袉挝唬话退狗?、寧德時(shí)代、微軟、默克和出入境檢驗(yàn)局等企事業(yè)單位。

2017 年開(kāi)始,復(fù)納科技陸續(xù)與 7 家行業(yè)品牌建立了長(zhǎng)期合作,致力于為中國(guó)高校、研究所、企業(yè)和政府用戶提供先進(jìn)可靠、高效智能的科學(xué)分析儀器、優(yōu)質(zhì)專(zhuān)業(yè)的服務(wù)和基于核心技術(shù)的解決方案。目前已引進(jìn)先進(jìn)的:DENSsolutions TEM原位樣品桿,飛納臺(tái)式掃描電鏡,NEOSCAN臺(tái)式高分辨顯微 CT,F(xiàn)orgeNano原子層沉積、 Technoorg Linda SEM/TEM樣品制備和VSParticle 納米氣溶膠沉積等設(shè)備。

十年以來(lái),復(fù)納科技賦能中國(guó)科研創(chuàng)新、工業(yè)升級(jí),人工智能檢測(cè)的使命也越來(lái)越清晰。

 

 

 

 

臺(tái)式掃描電鏡,SEM / TEM 樣品制備,ALD 原子層沉積,TEM 原位樣品桿,X 射線顯微 CT

借助 3D 粗糙度重建系統(tǒng),飛納臺(tái)式掃描電鏡(SEM)可以生成樣品的三維圖像,并進(jìn)行亞微米量級(jí)的粗糙度測(cè)量。基于“陰影顯形”技術(shù),3D 成像有助于展示樣品特征。

3D

3D 圖像可以幫助用戶更好地理解樣品特點(diǎn),使得在 2D 圖像中很難分辨的凹坑、劃痕、刻紋等特征,變得清晰可見(jiàn)。 

粗糙度 

平均粗糙度(Ra)及粗糙高度(Rz)的測(cè)量對(duì)于生產(chǎn)工藝的控制和改進(jìn)具有重要意義。使用 SEM 圖像作為信息收集手段,可以獲得比傳統(tǒng)(非直接)手段更佳的分辨率。3D 粗糙度重建模塊是飛納臺(tái)式掃描電鏡的理想擴(kuò)展,特別適用于下列領(lǐng)域: 

• 機(jī)械加工的質(zhì)量控制 

• 紋理分析 

• 證物鑒定 

• 缺陷 & 失效分析 

• 摩擦學(xué)-磨損分析

3D 粗糙度重建系統(tǒng)可在包含多個(gè)飛納臺(tái)式掃描電鏡(SEM)特定應(yīng)用程序的 Phenom ProSuite 中獲得。 

3D 粗糙度重建系統(tǒng)的主要優(yōu)點(diǎn):

 • 遠(yuǎn)優(yōu)于光學(xué)或機(jī)械測(cè)量手段 

    - 高分辨率

    - 可測(cè)量反光樣品 

    - 直接測(cè)量

    - 非破壞性 

• 創(chuàng)新性全自動(dòng)用戶界面 

• 基于“陰影顯形”,無(wú)需傾斜樣品 

• 完整解決方案 

• 快速重建

• 直觀的用戶界面



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