激光驅(qū)動光源 (LDLS) 是美國 Energetiq Technology inc. 開發(fā)的創(chuàng)新光源，該公司是濱松光子學(xué)株式會社的子公司。 Energetiq生產(chǎn)的光源具有高可靠性，高性能，高亮度，長壽命等特點(diǎn)。其產(chǎn)品具有很寬的光譜范圍，譜線包括軟遠(yuǎn)紫外線（EUV）,深紫外線（DUV）,并覆蓋從可見光到紅外光區(qū)（IR），波長范圍從170nm到2100nm以上。Energetiq的光源結(jié)構(gòu)緊湊，使用方便，性價比高的特點(diǎn)，寬譜線并帶光纖耦合輸出。

產(chǎn)品介紹

EQ-400-RH-QZ-S 是我們 LDLS 系列中輸出功率zui高的型號。燈頭和控制器需要強(qiáng)制水制冷以確保穩(wěn)定運(yùn)行。

激光驅(qū)動光源特點(diǎn)和優(yōu)勢：

• 連續(xù)激光等離子體提供高輻射照度

• 超高亮度，覆蓋波段范圍170 nm 至 2500 nm

• 無需復(fù)合燈源（可替代氘燈/ 鎢燈/氙弧光燈），簡化光學(xué)系統(tǒng)

• 優(yōu)異的空間穩(wěn)定性，適于重復(fù)測量

• 使用壽壽命長: 10000小時

• 優(yōu)異的短時和長期功率穩(wěn)定性，適于重復(fù)測量

• 無電極工作，更低維護(hù)成本

• 更高的功率密度

 
產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品應(yīng)用

• 光學(xué)元件測試和校準(zhǔn)應(yīng)用
  

• 高性能光譜

• 單色儀光源

• 半導(dǎo)體計(jì)量與檢測

• 材料特性分析

• 薄膜量測

• 缺陷檢測

• PEEM

• 其他需要長壽命燈的應(yīng)用