半導體缺陷檢測 PULSAR系列中的Pulsar L系列及Pulsar H系列是應用于電子、半導體工業(yè)領域的缺陷檢測設備，如WLP，PLP, 晶圓制造前端工藝等，可實現(xiàn)從低分辨率到高分辨率的缺陷檢測、分類、定位測量等功能

2. 半導體缺陷檢測 PULSAR系列的特點

n  多種分辨率，分辨率達0.1um

n  測量速度快，產(chǎn)能可以到6pcs/hr（6inch，0.2um分辨率下），檢出率95%

n  設備穩(wěn)定性和可靠性高

n  自動缺陷分類、自動缺陷圖像存儲、自動及手動缺陷復查

n  高速、高數(shù)據(jù)率和高靈敏度圖像處理系統(tǒng)

n  亞像素的分辨率（1/10像素）

n  可靈活擴容圖像處理吞吐能力

3. 光學系統(tǒng)

高速TDI線陣掃描

實時自動聚焦

高分辨率：分辨率低至0.5um

支持多倍率鏡頭自動切換

4. 運動系統(tǒng)

多軸運動平臺

高精度，XY重復性±0.5um

高性能

5. 軟件系統(tǒng)

n  軟件自主設計開發(fā)，擁有自主知識產(chǎn)權

n  模塊化設計，提高效率，方便維護與功能升級

n  簡單易用的人機交互界面

n  超大數(shù)據(jù)流采集及實時處理能力

n  多樣的結果顯示及報表打印

n  完善的系統(tǒng)自我診斷功能

6. 規(guī)格