美國Entegris耐腐蝕檢測電鍍?nèi)芤航庋鯗y定儀 Entegris 特點介紹

一種先進(jìn)的基于光學(xué)的監(jiān)測解決方案，用于檢測和監(jiān)測電鍍?nèi)芤簯?yīng)用中極低水平的溶解氧。InVue ®溶解氧分析儀 (DOX) 連續(xù)測量溶解氧，過程影響最小。

與溶解氧發(fā)生反應(yīng)的高靈敏度發(fā)光體（可在安裝位置更換）

耐腐蝕、高純度設(shè)計，PTFE 外殼內(nèi)有干凈的硅膠潤濕膜

兩個模擬輸出：濃度和溫度

美國Entegris耐腐蝕檢測電鍍?nèi)芤航庋鯗y定儀 Entegris 規(guī)格參數(shù)

電鍍液裝置和槽中溶解氧的存在是工藝用藥液的重要課題。當(dāng)溶解氧達(dá)到不可控制的水平時，會導(dǎo)致反應(yīng)性降低或觸點腐蝕。

為了滿足這一關(guān)鍵工藝要求，InVue采用先進(jìn)的、基于光學(xué)的高靈敏度發(fā)光管（傳感器），用于高純度、高反應(yīng)性鍍液裝置和槽應(yīng)用。

™（預(yù)覽）開發(fā)了溶解氧濃度計。這種透視溶解氧濃度計，經(jīng)過驗證的發(fā)光、通過利用檢測技術(shù)，可持續(xù)測量溶解氧水平，

通過PTFE殼體內(nèi)的清潔硅液相接膜，透視濃度計可監(jiān)視金屬反應(yīng)性鍍液中的溶解氧水平。

這可以提高工藝生產(chǎn)率，延長設(shè)備和工藝液的使用壽命，從而降低運(yùn)營成本。

此外，在下一代20納米以下前端光線（FEOL）和后端光線（BEOL）工藝中，可提供類似的性能。