国产精品视频一区二区三区四,亚洲av美洲av综合av,99国内精品久久久久久久,欧美电影一区二区三区电影

官方微信|手機版

產品展廳

產品求購企業(yè)資訊會展

發(fā)布詢價單

化工儀器網>產品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>薄膜生長設備>外延系統(tǒng)>Hesper I E430R 12英寸單片減壓硅外延系統(tǒng)

Hesper I E430R 12英寸單片減壓硅外延系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準

聯(lián)系方式:謝澤雨查看聯(lián)系方式

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!




深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1. 產品概述

Hesper I E430R 12英寸單片減壓硅外延系統(tǒng),優(yōu)異的氣流場和加熱場設計提供優(yōu)良的工藝性能。

2. 設備用途/原理

Hesper I E430R 12英寸單片減壓硅外延系統(tǒng)優(yōu)異的氣流場和加熱場設計提供優(yōu)良的工藝性能,高效傳輸設計,可提高產能,單、雙、四腔兼容設計,可滿足不同客戶需求。

3. 設備特點

晶圓尺寸 12 英寸,適用材料 ,適用工藝 埋層外延、選擇性外延 、多晶外延,適用域 科研、集成電路百科知識;?減壓硅外延系統(tǒng)的工作原理主要涉及在氫等離子體原位清潔過的硅襯底表面上,利用減壓(200~250乇)工藝在980~1000℃的溫度下生長出高質量的外延層。?這一過程不僅優(yōu)化了外延層的生長條件,還顯著提高了外延層的結晶質量。具體來說,通過減壓工藝,可以減小襯底-外延層界面的摻雜濃度過渡區(qū),從常壓時的1.0μm減小到0.4μm,同時電阻率和厚度的不均勻性分別小于5%和4%。



化工儀器網

采購商登錄
記住賬號    找回密碼
沒有賬號?免費注冊

提示

×

*您想獲取產品的資料:

以上可多選,勾選其他,可自行輸入要求

個人信息:

溫馨提示

該企業(yè)已關閉在線交流功能

镇巴县| 临桂县| 桐乡市| 武定县| 集贤县| 胶南市| 中西区| 工布江达县| 佳木斯市| 城固县| 郎溪县| 蓬溪县| 青铜峡市| 仁化县| 黄平县| 库尔勒市| 北票市| 惠安县| 济阳县| 封丘县| 德阳市| 新宁县| 安福县| 仪征市| 龙泉市| 绥棱县| 玉田县| 加查县| 宁阳县| 宁夏| 双峰县| 杭锦后旗| 会泽县| 苍山县| 巴里| 志丹县| 洪洞县| 谷城县| 子长县| 衡水市| 闵行区|