化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)用儀器>硅片制備/晶體生長(zhǎng)設(shè)備>單晶爐>APS系列 感應(yīng)式碳化硅長(zhǎng)晶爐
APS系列 感應(yīng)式碳化硅長(zhǎng)晶爐
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱(chēng) 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 北方華創(chuàng)
- 型號(hào) APS系列
- 產(chǎn)地
- 廠(chǎng)商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
- 更新時(shí)間 2025/6/5 12:23:41
- 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 515
產(chǎn)品標(biāo)簽
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1. 產(chǎn)品概述
APS系列 感應(yīng)式碳化硅長(zhǎng)晶爐，適用于 6 英寸、8 英寸，導(dǎo)電 / 高純半絕緣型 SiC 晶體生長(zhǎng)。
2. 設(shè)備用途/原理
APS系列 感應(yīng)式碳化硅長(zhǎng)晶爐，適用于 6 英寸、8 英寸，導(dǎo)電 / 高純半絕緣型 SiC 晶體生長(zhǎng)。創(chuàng)新的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，提供高純材料生長(zhǎng)能力。智能的運(yùn)行 / 監(jiān)控系統(tǒng)，適于長(zhǎng)時(shí)間 / 高溫 / 低壓工藝，拓寬高質(zhì)量 / 大規(guī)模晶體生長(zhǎng)窗口。包含多款輔助設(shè)備：大產(chǎn)能原料合成爐、晶錠退火爐、氮化鋁長(zhǎng)晶爐及 其他定制化設(shè)備。
3. 設(shè)備特點(diǎn)
晶體尺寸 6、8 英寸，加熱方式 感應(yīng)加熱，適用材料 碳化硅、氮化鋁，適用工藝 物理氣相輸運(yùn)法（PVT 法），適用域 科研、化合物半導(dǎo)體。
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