日本nichinetu圓形熱板液晶和半導體制造用  特點介紹

液晶和半導體制造過程中的加熱和冷卻

我們提供具有優(yōu)異的表面溫度均勻性、高精度平面度和表面粗糙度的面板。

它用于液晶和半導體工藝中加熱和冷卻熱板，并受到好評。

我們還支持在高真空條件下使用的熱板。

我們可以根據您的要求提供面板材料和表面處理。

日本nichinetu圓形熱板液晶和半導體制造用  規(guī)格參數

板材材質鋁材（例如A5052、A5056）、銅材等 

表面處理陽極氧化處理、化學鍍鎳處理等 

表面粗糙度最小 0.8Ra 

溫度感應器PT100、TC(K)等 

外徑尺寸對于~300φ 

厚度尺寸一般為30毫米 

電壓一般為200V 

常溫、常濕、無風、空載下的測量值。

根據實際使用情況可能會有所不同。

控制溫度200℃ 300℃ 

保證溫度均勻性電阻值<1℃ 電阻<2℃ 

平整度（加熱后）0.05毫米 0.1毫米 

板材材質主要由鋁制成 

表面處理根據使用環(huán)境選擇 

表面粗糙度0.8Ra以下 

溫度感應器護套類型TC(K)等 

外徑尺寸對于~300φ 

厚度尺寸一般為45毫米 

電壓一般為200V 

板材材質主要由鋁制成（例如A5052） 

表面處理陽極氧化鋁處理等 

表面粗糙度1.6Ra以下 

溫度感應器PT100、TC(K)等 

外徑尺寸～2200×2500mm 

厚度尺寸一般為50毫米 

電壓一般為200V