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AL-1 無針孔薄膜沉積設(shè)備

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AL-1無針孔薄膜沉積設(shè)備SAMCO

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1. 產(chǎn)品概述

AL-1通過交替向反應(yīng)室提供有機金屬原料和氧化劑,僅利用表面反應(yīng)沉積薄膜,實現(xiàn)了高膜厚控制和良好的步驟覆蓋率。薄膜的厚度可以控制在原子層的數(shù)量。此外,可以在高寬比的孔內(nèi)壁上沉積覆蓋性好、厚度均勻的薄膜??赏瑫r沉積3片?4英寸的晶片。

2. 設(shè)備用途/原理

用于下一代功率器件的柵氧化膜和鈍化膜。在3D結(jié)構(gòu)上形成均勻的薄膜,如MEMS。激光表面的沉積。碳納米管的鈍化膜。

3. 設(shè)備特點

成膜效率高,通過提供幾十毫量的脈沖,減少了原材料的損耗,提高了沉積效率。真空清潔,溫度不均勻性小,通過緊貼反應(yīng)室內(nèi)壁的內(nèi)壁加熱器,抑制反應(yīng)室的溫度不均勻,可獲得清潔的真空。無針孔成膜,由于多種驅(qū)體在反應(yīng)室中沒有混合,因此可以防止顆粒,形成無針孔的薄膜。




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