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FB系列 真空爐

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 深圳市矢量科學儀器有限公司
  • 品牌 ULVAC/日本愛發(fā)科
  • 型號 FB系列
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時間 2024/9/6 11:34:56
  • 訪問次數(shù) 393
產(chǎn)品標簽

真空爐FB系列

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

產(chǎn)地類別 進口 價格區(qū)間 面議
儀器種類 箱式爐 應用領域 綜合

1 產(chǎn)品概述:

   真空爐是一種在爐腔內(nèi)利用真空系統(tǒng)(由真空泵、真空測量裝置、真空閥門等元件組成)將爐腔內(nèi)部分物質(zhì)排出,使爐腔內(nèi)壓強小于一個標準大氣壓,從而實現(xiàn)真空狀態(tài)的加熱設備。其爐膛通常由金屬罩殼或石英玻璃罩密封,并通過管道與高真空泵系統(tǒng)聯(lián)接,以達到所需的真空度。真空爐的加熱方式多樣,包括電阻加熱、高頻感應加熱等,最高溫度可達3000℃左右。

2 設備用途:

真空爐的用途非常廣泛,主要包括以下幾個方面:

  1. 熔煉金屬材料:真空爐能夠提供高溫和低壓環(huán)境,使金屬材料在熔融狀態(tài)下更容易排除雜質(zhì)和氣體,從而提高材料的純度和均勻性。

  2. 燒結陶瓷和粉末材料:在高溫下提供無氧環(huán)境,避免材料氧化和污染,使燒結效果更好。

  3. 熱處理金屬材料:提供高溫下的穩(wěn)定、均勻的加熱環(huán)境,用于提高材料的硬度、韌性等力學性能。

  4. 太陽能電池生產(chǎn):用于制備太陽能電池中的硅片,進行摻雜、燒結等工藝。

3 設備特點

真空爐的特點主要體現(xiàn)在以下幾個方面:

  1. 清潔表面:消除了加熱過程中工件表面的氧化、脫碳,可獲得無變質(zhì)層的清潔表面,這對于改善切削性能等具有重要意義。

  2. 環(huán)保無污染:整個加熱過程在真空環(huán)境下進行,對環(huán)境無污染,無需進行三廢處理。

  3. 高精度控制:爐溫測定、監(jiān)控精度明顯提高,熱電偶的指示值與爐溫溫度可達到較高的精度。

  4. 機電一體化:現(xiàn)代真空爐的機電一體化程度高,工件移動、氣壓調(diào)節(jié)、功率調(diào)節(jié)等均可預先編程設定,實現(xiàn)自動化操作。


4
技術參數(shù)和特點:

通過采用9分割溫度控制的in-Line方式,實現(xiàn)了優(yōu)秀的均熱性能和較高的生產(chǎn)性能。

由于可對應從低真空到高真空的各種用途,可以選擇合適的排氣系統(tǒng)。






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