產(chǎn)品名稱：XONOX干涉儀系統(tǒng)VT750

產(chǎn)品型號：VT750

產(chǎn)品介紹

VT750是用于生產(chǎn)、質(zhì)量檢驗(yàn)和計(jì)量實(shí)驗(yàn)室環(huán)境的干涉儀塔。此外，還提供“tower only”版本“B”，用于集成現(xiàn)有或第三方干涉儀單元，或配備ZYGO Verifire和ZYGO MX條紋分析軟件的版本“Z”。該系統(tǒng)可以配備PC桌、2個屏幕、鼠標(biāo)和鍵盤，也可以配備內(nèi)置PC和觸摸面板，以優(yōu)化操作并更大限度地減少生產(chǎn)環(huán)境中的空間需求。

性能特點(diǎn)

l 天然花崗巖柱具有非常平坦和準(zhǔn)確的導(dǎo)向表面，便于使用，可以非常準(zhǔn)確地測量光學(xué)元件的曲率半徑

l 高精度和準(zhǔn)確的線性標(biāo)尺，具有高的分辨率，直接與條紋分析軟件連接

l 測量臺在空氣軸承滑塊上平衡和導(dǎo)向，便于快速、簡單、準(zhǔn)確地設(shè)置和移動

l 占地面積小，價值非凡，結(jié)合高精度和剛性，免維護(hù)設(shè)計(jì)

l 堅(jiān)固的減振系統(tǒng)，非常適合工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境

l XONOX X-fiz 100（4英寸）或X-fiz 130（5.2英寸）高性能斐索干涉儀，可電子控制光學(xué)變焦（1x至10x）、聚焦和對比度

l 創(chuàng)新、強(qiáng)大、用戶友好的條紋分析系統(tǒng)X-fringe2，具有不同的智能和智能模式，可適應(yīng)各種應(yīng)用

l 從具有靜態(tài)條紋分析的低成本“ST”版本到高性能“PS2”相移版本進(jìn)行選擇

選型指南

VT750 ST：配備XONOX X-fiz 100（4英寸）/X-fiz 130（5.2英寸），帶10倍光學(xué)變焦和靜態(tài)條紋分析系統(tǒng)XONOX“X-fringe ST”

VT750 PS2：配備XONOX X-fiz 100（4英寸）/X-fiz 130（5.2英寸），帶10倍光學(xué)變焦，相移條紋分析系統(tǒng)XONOX“X-frige2”和壓電移相器XONOX”X-phase PMR“

VT750 Z：帶ZYGO Verifire 4“或6”干涉儀單元和Mx相移條紋分析

VT750 B：用于集成現(xiàn)有干涉儀單元的“tower only”版本。

可選功能與配件

可選配XONOX條紋分析系統(tǒng)X-fringe2ST或帶X相PMR移相器的X-fridge2PS。

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地：美國

行程范圍：max.750mm（800mm線性刻度范圍）

測試直徑：max.200mm（取決于使用的TS和零件支架）

測量系統(tǒng)：帶PC接口和溫度擴(kuò)展補(bǔ)償功能的增量高精度線性測量系統(tǒng)（標(biāo)準(zhǔn)）/可選激光放電測量系統(tǒng)（可選）

測量精度：20°C時每500mm高達(dá)+/-0.7μm

分辨率：高達(dá)0.1µm（標(biāo)準(zhǔn)0.5µm）

尺寸（寬x深x高）：800 x 900 x 2100 mm

（如果使用PC進(jìn)行條紋分析，則需要額外的空間，XONOX PC臺可選）

連接：10-240V/50-60Hz

壓縮空氣：6bar

重量：約500kg

顏色：淺灰色RAL 7035