Veeco 的 LSA101 系統(tǒng)安裝在 IDM 和晶圓代工廠，是大批量制造 40nm 至 14nm 節(jié)點的先進邏輯器件的技術。LSA 101 的掃描技術基于 Veeco 的可定制 Unity 平臺™構建，在均勻性和低應力處理方面具有根本優(yōu)勢。LSA101 系統(tǒng)可實現(xiàn)關鍵的毫秒級退火應用，使客戶能夠保持精確、有針對性的高加工溫度，從而提高設備性能、降低泄漏和提高產(chǎn)量。

標準 LSA101 配置利用單束窄激光束將晶圓表面從襯底溫度加熱到峰值退火溫度。為了應對日益復雜的工藝需求，Veeco 開發(fā)了一種雙光束技術，該技術擴大了非熔融激光退火的應用空間，并具有第二個低功率激光束以實現(xiàn)低溫加工。當使用雙光束時，會結合第二個更寬的激光束來預熱晶圓。雙光束系統(tǒng)在調(diào)節(jié)溫度和應力分布方面提供了靈活性。